触針式プロファイリングシステム (膜厚段差計・粗さ計・表面形状粗さ計）
製品ラインナップ
卓上型触針式プロファイリングシステム
汎用触針式プロファイリングシステム
Dektak Pro New
40年以上業界をリードしてきたDektakシリーズの第11世代目の最新機種になります。
シングルアーチ設計とスマート・エレクトロニクスにより測定再現性5Åを実現し、ダイレクトドライブ・ステージは測定時間を40%向上させます。64ビットコンピュータ上で動作するVision64は従来の10倍の高速データ解析を行います。またオールインワン設計のスタイラスセンサーヘッドは、ヘッド交換無しで、ロングレンジスキャンと低触圧測定モードを同時に実現します。
※Dektakの買換えをご検討のお客様はこちら
Dektak Pro-E / -S
手動100mmXYステージ（手動θオプション）
Dektak Pro-A
自動360°θ付き150 mm XYステージ
Dektak Pro-A200
エンコードされた自動360°θ付き
200mmXYステージ
| 仕様一覧 |
Dektak Pro-E （Entry） |
Dektak Pro -S （S tandard） |
Dektak Pro -A （Automation） |
Dektak Pro -A200 （Automation） |
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| 測定技法 | 触針式プロファイル測定（接触方式） | |||||||||||||||||||
| 測定能力 | 2Dプロファイル | 2Dプロファイル | 2Dプロファイル |
2Dプロファイル |
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| サンプル観察 | 0.275～2.2 mm（1～8倍 自動デジタルズーム機能付） | |||||||||||||||||||
| スタイラスセンサー | 低慣性センサー（LIS3センサー） | |||||||||||||||||||
| 触圧範囲 | 1～15 mg（LIS3センサー） | |||||||||||||||||||
| 抵触圧オプション | 0.03 ～15 mg （N-Lite+オプション） | |||||||||||||||||||
| スタイラスオプション | 先端曲率（50 nm,2 μm,2.5 μm,5 μm,12.5 μm,25 μm） |
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| サンプルステージ（X/Y） | 手動 100 ｍｍ (4インチ)、手動レベリング | 電動150 mm（6インチ）、 |
電動200 mm（8インチ）、 |
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| サンプルステージ（R-Θ） | ― | 手動 360度 | 電動 360度 | 電動 360度 | ||||||||||||||||
| 防振 | 複数の防振ソリューションを提供 | |||||||||||||||||||
| スキャン長 | 55mm（2インチ） | 55 mm（2インチ）、 |
55 mm（2インチ）、 |
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| スキャン毎の測定ポイント | 最大120,000ポイント/ライン | |||||||||||||||||||
| 最大サンプル厚 | 50 mm（標準ウェーハバキュームチャック使用時） | |||||||||||||||||||
| 最大ウェハサイズ | ―（ ※□ 100mm ） | 200 mm（8インチ） | ||||||||||||||||||
| 段差測定再現性 | 1σ ≦ 4Å（1μm以下段差 の30回連続測定のσ値, 12.5 μmスタイラス使用） | |||||||||||||||||||
| 高さ測定範囲（最大） | 1mm | |||||||||||||||||||
| 高さ分解能 | 1Å（6.5 μm 測定レンジ選択時） | |||||||||||||||||||
| 入力電源 | 100 - 240 VAC, 50-60 Hz | |||||||||||||||||||
| 温度範囲 | 20 - 25 ℃ | |||||||||||||||||||
| 湿度範囲 | ≦ 80 ％（結露無きこと） | |||||||||||||||||||
| システム寸法・重量 | 本体寸法：442 mm W x 538.7 mm D x 410.7 mm H , 重量：38 kg |
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最大300 mmの性能を備えたゲージ対応QA/QC向けプロファイラー
大型ステージ対応 触針式プロファイリングシステム
Dektak XTL
12インチウエハ、 350mmx350mmの基板サイズにフルアクセス可能な、半導体＆大型試料対応の触針式プロファイリングシステムです。オールインワン設計のスタイラスセンサーヘッドはヘッド交換なしで、ロングレンジスキャンと低触圧測定モードを同時に実現することができます。また、シングルアーチ型設計と最新のプロセッサーにより、5Åと比類ない測定再現性を実現します。さらに、Windows7 64Bit対応Visionソフトウエアが、パワフルで直感的オペレーションを提供します。