触針式プロファイリングシステム (膜厚段差計・粗さ計・表面形状粗さ計)

製品ラインナップ

卓上型触針式プロファイリングシステム

Dektak XT

汎用触針式プロファイリングシステム
Dektak XT

40年以上業界をリードしてきたDektakシリーズの第10世代目の最新機種になります。
シングルアーチ設計とスマート・エレクトロニクスにより測定再現性5Åを実現し、ダイレクトドライブ・ステージは測定時間を40%向上させます。64ビットコンピュータ上で動作するVision64は従来の10倍の高速データ解析を行います。またオールインワン設計のスタイラスセンサーヘッドは、ヘッド交換無しで、ロングレンジスキャンと低触圧測定モードを同時に実現します。

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最大300 mmの性能を備えたゲージ対応QA/QC向けプロファイラー

Dektak XTL

大型ステージ対応 触針式プロファイリングシステム
Dektak XTL

12インチウエハ、 350mmx350mmの基板サイズにフルアクセス可能な、半導体&大型試料対応の触針式プロファイリングシステムです。オールインワン設計のスタイラスセンサーヘッドはヘッド交換なしで、ロングレンジスキャンと低触圧測定モードを同時に実現することができます。また、シングルアーチ型設計と最新のプロセッサーにより、5Åと比類ない測定再現性を実現します。さらに、Windows7 64Bit対応Visionソフトウエアが、パワフルで直感的オペレーションを提供します。








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イベント・セミナー情報

ブルカージャパン(株) ナノ表面計測事業部は、ナノプローブテクノロジー第167委員会の企業会員です。 ナノプローブテクノロジー第167委員会とは日本学術振興会の設置する61の産学協力研究委員会の1つであり、走査型プローブ顕微鏡(SPM)の基礎・応用技術の組織的発展を目標に活動しています。