ナノインデンター
SEM／TEM in-situ ナノインデンター
Brukerの電子顕微鏡組込み型ナノインデンテーションシステム（Picoindenter：ピコインデンター）は、SEM・TEM内に組み込むことで、ナノインデンターなどの定量性のあるナノ力学特性評価を行いながら、その際に実際に生じたナノ力学現象（破壊、剥離、結晶面のすべりなど）をin-situで観察することが可能です。SEM・TEMでの観察結果を画像、動画で記録し、ナノ力学特性評価で得られた荷重－変位曲線とリアルタイムで比較することで、ナノ力学現象についてより深い考察や知見を得ることが期待できます。Brukerのピコインデンターは多くのメーカーのSEM、TEMに適合するように設計されています。皆様がお持ちのSEM、TEMに対し、接続に必要なスループットをご準備、簡単に接続できるようセットアップされます。
SEM組込み型システム PI 89 / PI 85E / PI 80
PI 89 SEM PicoIndenter
PI 95 TEM PicoIndenter
PI 85E SEM PicoIndenter
PI 80 SEM PicoIndenter
システム特徴
※対応できる機能が製品により異なります。詳細はお問合せ下さい。
SEM／TEM中でナノインデンテーションをはじめとする様々な試験が可能
Push-to-Pull（PTP）デバイスを用いたZnOナノワイヤの引張試験の様子
カンチレバーの曲げ試験の様子
ハードディスク表面DLC
コーティングのナノスクラッチ
試験の様子
ナノ粒子の圧縮破壊試験の様子
圧縮前後のNiナノピラーの暗視野TEM像； 試験前にピラーで観察された高い転位密度は圧縮により認められなくなった
Nature Materials 7, 115-119 (2007)
EBSDなどSEM／TEM中で行う各種分析手法とシームレスに評価可能
EBSDで取得した結晶方位解析結果、ナノインデンテーション測定によりできた圧痕が認められる（黒色部）
シームレス評価を可能にする日本で唯一のチルトローテーションステージ
ピコインデンターのチルトローテーションステージ
最高1000℃、最低-130℃の加熱・冷却機構
室温（左）および800°C（中央）で圧縮試験を行った後のボンドコーティングピラーの形態、および試験の結果得られた応力-ひずみ曲線（右）
SPMイメージング機能とXPM高速機械的特性マッピング機能の搭載が可能
ガラスのナノインデンテーション測定後の圧痕をSPMイメージング機能で観察した結果；パイルアップやスリップバンドが認められる
Niベースの超合金とアルミナイドボンドコーティングのXPM硬さマッピング結果
