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【CMP基礎】
| 開催日程 | 内容 | お申込み受付 |
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登録募集中 2025年9月26日 13:30～14:55 | CMP技術の最前線：シリコン・パワー半導体の基礎から未来へ プログラム詳細 本ウェビナーでは、九州工業大学 大学院情報工学研究院 知的システム工学研究系 教授 鈴木恵友先生をお招きし、CMP（化学的機械研磨）技術の基礎から応用、そして将来展望までを体系的に解説します。前半では、CMPプロセス設計の基本、スラリー調合、低屈折率透明パッドを用いた微粒子・残膜測定技術など、実務経験に基づいた知見を共有。後半では、パワー半導体向けのハイブリッドスラリー技術やフラーレン応用事例を紹介し、CMP技術が今後どのように進化していくのかを展望します。さらに、ブルカージャパンによるCMP装置評価の最新プログラム紹介も実施。装置性能の可視化や測定精度の向上に関する取り組みを通じて、CMPプロセスの最適化に役立つ情報を提供します。CMP技術に関わる技術者・研究者はもちろん、半導体製造やプロセス開発に携わる方々にとっても、実践的かつ将来に向けたヒントが得られる内容となっております。プログラム詳細 |
【わかる光干渉計】非接触3D光干渉計 Contourシリーズ
| 開催日程 | 内容 | お申込み受付 |
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終了 2025年8月27日 13:30～14:00 | 【わかる光干渉計】非接触3D光干渉計 Contourシリーズ ー精密部品製造における品質管理の更なる向上に向けた各種 自動機能のご紹介 ー |
AFMプローブの選び方：ナノ機械特性測定に最適なプローブ選び 基礎と応用
| 開催日程 | 内容 | お申込み受付 |
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終了 2025年8月28日 13:30～14:30 | AFMプローブの選び方：ナノ機械特性測定に最適なプローブ選び 基礎と応用 |
わかる！干渉計 シリーズ
| 開催日程 | 内容 | お申込み受付 |
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終了 PCB基盤向け 光学式粗さ計 | 【わかる！光干渉計】非接触3D光干渉計 Contourシリーズ PCB基板の生産管理に向けた高機能3D形状測定システム“ContourSP“の最新動向 トランジスタジオメトリの急速な小型化を追求する半導体業界ロードマップにより促進されるPCB 製造現場における “ContourSP”の形状&寸法測定の仕様・能力をご紹介致します。 | |
終了 非接触光学式 粗さ計の選び方 | 【わかる！粗さ測定 】非接触光学式粗さ計の選び方 ウェビナー 共焦点法、焦点移動法、干渉法の能力比較や干渉法（CSI法/Coherence Scanning Interferometry）の位置づけ、ブルカーによる干渉法の課題解決策など実測例を交えて解説します。（約35分） | |
終了 光学式、接触式 使い分け | 【わかる！粗さ測定 】～光学式、接触式をどう使い分ける～ 接触式プロファイラーと光学式（白色干渉方式）による表面粗さ測定についてメリットデメリットを交えてご紹介します。光学式粗さ計の導入を検討の方や、粗さ測定の基礎を知りたい方にお勧めです。（約30分） | |
終了 自動機能 | 【わかる！光干渉計】非接触3D光干渉計 Contourシリーズ ～精密部品製造における品質管理のさらなる向上に向けた各種 自動機能のご紹介～
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わかる！AFMシリーズ
| 開催日程 | 内容 | お申込み受付 |
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終了 原理と形状 コンタクト・タッピング | 【わかる！AFM】原理と形状測定 初級コース コンタクト・タッピングモード AFMとは何かから、装置構成、測定の前準備、注意点、コンタクトモードとタッピングモードの原理と測定例をわかりやすく解説します。2023年4月20日 (約30分) | |
終了 ピークフォース タッピング | 【わかる！AFM】ピークフォースタッピング 初級コース ピークフォースタッピングモード ピークフォースタッピングの基礎と動作原理を解説し、このモードで測定された高分解能形状像を紹介します。2023年5月22日 (約30分) | |
終了 機械特性 | 【わかる！AFM】機械特性 中級コース ～PeakFoece Tapping QNM/ QIモード/ Force Volume Mapping～ 本ウェビナーでは、最初に、AFMの原理、AFMを用いてどんなことができるのか？など、基本的なことを紹介したあと、AFMを用いてどのように機械特性評価がなされているのかなどその研究報告例とともにご紹介いたします。本ウェビナーを通じて、現在はAFMを形状評価にしか用いていない方にも、機械特性評価が思ったより簡単にできることを知っていただければと思います。（約40分） | |
終了 機械特性 | 【わかる！AFM】機械特性 上級コース AFM-nDMAの基礎とコツ ～ ⾼分⼦材料の機械特性をナノスケールでマッピング～ 機械特性 AFM-nDMAをテーマにご紹介致します。 アプリケーションエンジニアによる技術解説と装置デモンストレーションを通して、AFM-nDMAの基礎とコツをご紹介致します。 前半の部 20分：AFM-nDMAの基礎とコツ ～ ⾼分⼦材料の機械特性をナノスケールでマッピング～ 後半の部 15分：デモンストレーション | |
終了 電気特性 TUNA / cAFM | 【わかる！AFM】電気特性 中級コース TUNA / cAFM わかる！AFM シリーズ（再放送）8月は、電気特性中級コースとして、コンダクティブAFM（TUNA / cAFM)について説明いたします。ブルカーアプリケーションエンジニアより、コンダクティブAFMの原理、測定データの紹介、測定のコツなどを解説いたします。 | |
終了 TR mode | 【わかる！AFM】Torsional Resonance Modeの基礎とコツ ～AFM高分解能観察の新しいアプローチ～ 一般的なAFM測定モードであるTapping modeでは，探針を垂直方向に動かしながら測定を行う。一方，ねじれ共振モード (Torsional resonance mode: TR mode) では，探針を試料表面に対し水平方向に振動させる。この時，探針先端と試料との間に摩擦力等の水平方向の力が加わると，カンチレバーの共振周波数に変化が生じ，これを高さ制御に用いることで Tapping mode と同様にして表面形状を捉えることが可能となる。 TR mode で用いるカンチレバーのねじれ共振は，通常高いQ値を持つことから，高速・高分解能の表面形状観察に期待が寄せられている。加えて，その動作原理から試料表面の摩擦評価や面内異方性の解析といった新たな観点で材料表面を分析することも可能である。近年，こうした TR mode から派生した Torsional Resonance Dynamic Friction Microscopy (TR-DFM or TFM) と呼ばれる新しい測定法が開発された。TR-DFM modeでは，2D材料の原子・格子構造の高分解能イメージング（スタンフォード大学との共同研究）をはじめ，様々な環境における表面高分解能観察を簡便に実現する新しいアプローチとして注目を集めている。 本ウェビナーでは，TR mode の原理からそのユニークな特性・アプリケーション，そして最新のTR-DFMモードの紹介を行う。 | 配信終了 |
終了 電気特性 KPFM | 【わかる！AFM】電気特性 中級コース KPFMの基礎 とコツ ～ 表面・界面の電子状態可視化（KPFM）の原理と応用～ わかる！AFM シリーズ（再放送）9月は、電気特性 KPFMをテーマにご紹介致します。 本ウェビナーでは、KPFM（ケルビンプローブフォース顕微鏡）に関するウェビナーを企画しました。今回は特別講師にAFMの表面電位可視化技術において先駆的な業績で知られております神戸大学の大西先生をお招きし、KPFMの基礎や測定例に関してご講演頂きます。また、ブルカーからはアプリケーションエンジニアよりKPFM測定デモについてご紹介します。皆様のご参加をお待ちしています。 | |
終了 電気特性 SCM, SSRM, sMIM | 【わかる！AFM】電気特性 中級コース SCM, SSRM, sMIMを用いた表面・界面の電気特性評価 わかる！AFM シリーズ（再放送）10月は、機械特性「SCM, SSRM, sMIM」を用いた半導体解析をテーマにお届けします。今回はブルカーアプリケーションエンジニアよりAFMを用いた電気測定の基礎や各種解析結果、更に最新のデータキューブ測定例についてご紹介し、最後に試料作製方法を簡単に紹介します。 | |
終了 磁気力/電気力勾配 | 【わかる！AFM】磁気力/電気力勾配 中級コース ~ MFM / EFMの原理と応用 ~ 本ウェビナーでは、最初にMFM / EFMの原理・駆動方法の説明を行い、また、どのように磁気力/電気力を検出しているかを解説いたします。後半では実サンプルの測定例、MFMでは外部磁場などを用いた測定例などを紹介します。最後に最近リリースされた新測定モード PF-MFM / PF-EFMの測定データを紹介いたします。 | 配信終了 |
終了 熱特性 | 【わかる！AFM】熱特性 局所熱分析 nanoTA ～原子間力顕微鏡(AFM)を利用したナノスケール熱分析手法の紹介～ 材料の特性評価や相分離、成分分布の特定が可能となる、AFM Nano-TAとSThMを用いた材料の局所転移温度や熱特性の高解像度マッピングについて紹介します。2023年６月6日（約35分） | |
終了 電気特性 PFM | 【わかる！AFM】電気特性 PFMの基礎とコツ ～ 圧電応答顕微鏡（PFM）の原理と応用～ わかる！AFM シリーズ（再放送）の今回は、圧電応答顕微鏡（PFM）をご紹介します。特別講演として兵庫県立大学 藤澤浩訓教授に圧電応答顕微鏡PFMの原理と測定実例をご発表頂くほか、アプリケーションエンジニアよりAFMを用いたSS-PFMを始めとする弊社のPFM測定のご紹介と実機によるデモを実施致します。 2021年10月19日（約20分） | |
終了 自動多点測定 | 【わかる！AFM】原子力顕微鏡による自動多点測定方法の紹介 ～対象：形状、機械的特性、磁気的・電気的特性への応用～ 半導体、光、磁気デバイス向けの構造や特性測定を、例えばウェハー面内の多数点で測定を行い、プロセス工程内の面内ばらつき確認や品質管理にAFMを用いるケースが増えてきています。単一条件による多数点測定から、測定位置毎に様々な測定を組み合わせる応用例まで多岐にわたります。このウェビナーでは、専用測定ソフトを使用した自動多点測定方法の概要について説明します。 2024年3月27日（約20分） |