最新イベント情報 ウェビナー
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最先端半導体後工程評価に向けた機器活用ウェビナー
| 開催日程 | 内容 | お申込み受付 |
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登録募集中 2024年9月19日(木) 13:30～15:40 | 最先端半導体後工程評価に向けた機器活用ウェビナー ～CMP評価機、ナノインデンター、AFM～ ブルカージャパン（株）ナノ表面計測事業部では、「CMP評価技術」をテーマにした特別ウェビナーを開催致します。今回は特別講師として、横浜国立大学 半導体・量子集積エレクトロニクス研究センターの井上 史大先生をお招きし、今注目される先端半導体後工程のチップレット技術の最新の動向や課題、開発応用例を幅広くご発表頂きます。また、株式会社荏原製作所の小篠様より、小型の研磨機を用いたΦ300 mm用実機へのフィードバック事例をご発表いただき、三井化学株式会社の中村様より、ポリマー／Cuハイブリッド接合の評価についてCMP装置やAFMを活用した事例をご発表いただきます。本分野に造詣の深い講師が解説する、半導体製造関連の知識と技術の最新動向を学べる貴重な機会となっております。是非皆様のご参加をお待ちしております。（※今回はLive配信のみとなります。） |
わかる！干渉計 シリーズ
| 開催日程 | 内容 | お申込み受付 |
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終了 光学式粗さ計 選び方 | 【わかる！粗さ測定 】非接触光学式粗さ計の選び方 ウェビナー 共焦点法、焦点移動法、干渉法の能力比較や干渉法（CSI法/Coherence Scanning Interferometry）の位置づけ、ブルカーによる干渉法の課題解決策など実測例を交えて解説します。（約35分） | |
終了 光学式、接触式 使い分け | 【わかる！粗さ測定 】～光学式、接触式をどう使い分ける～ 接触式プロファイラーと光学式（白色干渉方式）による表面粗さ測定についてメリットデメリットを交えてご紹介します。光学式粗さ計の導入を検討の方や、粗さ測定の基礎を知りたい方にお勧めです。（約30分） | |
終了 自動機能 | 【わかる！光干渉計】非接触3D光干渉計 Contourシリーズ ～精密部品製造における品質管理のさらなる向上に向けた各種 自動機能のご紹介～
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わかる！AFMシリーズ
| 開催日程 | 内容 | お申込み受付 |
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終了 原理と形状 コンタクト・タッピング | 【わかる！AFM】原理と形状測定 初級コース コンタクト・タッピングモード AFMとは何かから、装置構成、測定の前準備、注意点、コンタクトモードとタッピングモードの原理と測定例をわかりやすく解説します。2023年4月20日 (約30分) | |
終了 ピークフォース タッピング | 【わかる！AFM】ピークフォースタッピング 初級コース ピークフォースタッピングモード ピークフォースタッピングの基礎と動作原理を解説し、このモードで測定された高分解能形状像を紹介します。2023年5月22日 (約30分) | |
終了 機械特性 | 【わかる！AFM】機械特性 中級コース ～PeakFoece Tapping QNM/ QIモード/ Force Volume Mapping～ 本ウェビナーでは、最初に、AFMの原理、AFMを用いてどんなことができるのか？など、基本的なことを紹介したあと、AFMを用いてどのように機械特性評価がなされているのかなどその研究報告例とともにご紹介いたします。本ウェビナーを通じて、現在はAFMを形状評価にしか用いていない方にも、機械特性評価が思ったより簡単にできることを知っていただければと思います。（約40分） | |
終了 機械特性 | 【わかる！AFM】機械特性 上級コース AFM-nDMAの基礎とコツ ～ ⾼分⼦材料の機械特性をナノスケールでマッピング～ 機械特性 AFM-nDMAをテーマにご紹介致します。 アプリケーションエンジニアによる技術解説と装置デモンストレーションを通して、AFM-nDMAの基礎とコツをご紹介致します。 前半の部 20分：AFM-nDMAの基礎とコツ ～ ⾼分⼦材料の機械特性をナノスケールでマッピング～ 後半の部 15分：デモンストレーション | |
終了 2024年8月22日(木) 13:30～14:00 | 【わかる！AFM】電気特性 中級コース TUNA / cAFM わかる！AFM シリーズ（再放送）8月は、電気特性中級コースとして、コンダクティブAFM（TUNA / cAFM)について説明いたします。ブルカーアプリケーションエンジニアより、コンダクティブAFMの原理、測定データの紹介、測定のコツなどを解説いたします。 | 準備中 |
登録募集中 2024年9月19日(木) 13:30～14:30 | 【わかる！AFM】電気特性 中級コース KPFMの基礎 とコツ ～ 表面・界面の電子状態可視化（KPFM）の原理と応用～ わかる！AFM シリーズ（再放送）9月は、電気特性 KPFMをテーマにご紹介致します。 本ウェビナーでは、KPFM（ケルビンプローブフォース顕微鏡）に関するウェビナーを企画しました。今回は特別講師にAFMの表面電位可視化技術において先駆的な業績で知られております神戸大学の大西先生をお招きし、KPFMの基礎や測定例に関してご講演頂きます。また、ブルカーからはアプリケーションエンジニアよりKPFM測定デモについてご紹介します。皆様のご参加をお待ちしています。 | |
登録募集中 2024年10月24日(木) 13:30～14:15 | 【わかる！AFM】電気特性 中級コース SCM, SSRM, sMIMを用いた表面・界面の電気特性評価 わかる！AFM シリーズ（再放送）10月は、機械特性「SCM, SSRM, sMIM」を用いた半導体解析をテーマにお届けします。今回はブルカーアプリケーションエンジニアよりAFMを用いた電気測定の基礎や各種解析結果、更に最新のデータキューブ測定例についてご紹介し、最後に試料作製方法を簡単に紹介します。 | |
近日募集開始 2024年11月 13:30～14:00 | 【わかる！AFM】磁気と電気力勾配 MFM／EFM ＜Live配信＞ わかる！AFM シリーズ（再放送）11月は、MFM/EFMをテーマにご紹介致します。 | 準備中 |
近日募集開始 2024年12月 13:30～14:00 | 【わかる！AFM】新高分解能イメージングモード TFM ＜Live配信＞ 準備中 | 準備中 |
終了 熱特性 | 【わかる！AFM】熱特性 局所熱分析 nanoTA ～原子間力顕微鏡(AFM)を利用したナノスケール熱分析手法の紹介～ 材料の特性評価や相分離、成分分布の特定が可能となる、AFM Nano-TAとSThMを用いた材料の局所転移温度や熱特性の高解像度マッピングについて紹介します。2023年６月6日（約35分） | |
終了 電気特性 PFM | 【わかる！AFM】電気特性 PFMの基礎とコツ ～ 圧電応答顕微鏡（PFM）の原理と応用～ わかる！AFM シリーズ（再放送）の今回は、圧電応答顕微鏡（PFM）をご紹介します。特別講演として兵庫県立大学 藤澤浩訓教授に圧電応答顕微鏡PFMの原理と測定実例をご発表頂くほか、アプリケーションエンジニアよりAFMを用いたSS-PFMを始めとする弊社のPFM測定のご紹介と実機によるデモを実施致します。 2021年10月19日（約20分） | |
終了 自動多点測定 | 【わかる！AFM】原子力顕微鏡による自動多点測定方法の紹介 ～対象：形状、機械的特性、磁気的・電気的特性への応用～ 半導体、光、磁気デバイス向けの構造や特性測定を、例えばウェハー面内の多数点で測定を行い、プロセス工程内の面内ばらつき確認や品質管理にAFMを用いるケースが増えてきています。単一条件による多数点測定から、測定位置毎に様々な測定を組み合わせる応用例まで多岐にわたります。このウェビナーでは、専用測定ソフトを使用した自動多点測定方法の概要について説明します。 2024年3月27日（約20分） |