サンプル表面に触針を接触させながらステージ側を直線的に走査させ触針がサンプルの凹凸形状に追従した変位量をリアルタイム検知する事で材料に依存しない、正確なプロファイルを取得します。

ここで重要な事は、

• 微小な凹凸形状への追従性
• 触圧の性格な制御
• 操作時の直進性

（絵差し込み）

システムノイズを極限にまで軽減する堅牢なデア人や電気的ノイズを考慮したエレクトロニクスの設計により、DektakXTはナノメートルp-だ―の薄膜段差も測定可能となります。

（２nm薄膜段差の測定例）