InSightAFP ｜InSight CAP｜Insight AFP PM

300mmウェハ対応　大型AutoAFM(自動原子間力顕微鏡)
InSight AFP

InSight AFP AAFMは、300㎜ウェハに対応します。深さのみならず側壁の形状が測定可能で、これにより1度のスキャンでTop/Mid/Bottom CD、SWA(Side Wall Angle)、LWR/LER(Line Width Roughness/Line Edge Roughness)、SWR(Side Wall Roughness)といった様々なパラメータを取得できます。最新設計のハードウェアと測定アルゴリズムにより45nm以下の狭い線幅にも対応可能です。また、レーザーを照射しないためレジストを非破壊で測定可能で、かつNISTトレーサブルなCD/Depthスタンダードを採用していますのでTEMに変わる新しい標準器としてもご使用いただけます。 従来にない画期的な半導体用AFMシステムです。

AutoAFM(全自動原子間力プロファイラー)
InSight CAP

Insight CAPはCMPやEtchプロセス評価用の全自動AFMです。最長100mmまでのプロファイリング機能に加え、AFMならではのラフネス測定、通常のAFMでは困難だった65nm以下の狭い線幅での正確な深さ測定にも対応可能です。また、100mm, 150mm, 200mm, 300mmウェハに対応し、最大130umスキャンサイズと100umのZ方向スキャナー、自動AFMプローブ交換・プローブ先端形状評価機能、ホストとの通信機能も装備できるため、製造ラインの自動化にフルに対応いたします。 

フォトマスク用 AutoAFM(全自動原子間力顕微鏡)
Insight AFP PM

Insight AFP PMはフォトマスク用の全自動原子間力顕微鏡です。基本機能はInsight AFPと同じですが、Bruker社特許の測定モードであるTrue Sense Modeによる粘性度測定が表面形状と同時に測定出来、マスク表面の不良個所が付着物か加工不良かの判断が容易に可能です。また、表面欠陥検査装置からの不具合位置情報をKLARFファイルで入手し、自動的にAFM測定を行うDefect Review機能を備えています。