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ブルカージャパン(株) ナノ表面計測事業部は、ナノプローブテクノロジー第167委員会の企業会員です。 ナノプローブテクノロジー第167委員会とは日本学術振興会の設置する61の産学協力研究委員会の1つであり、走査型プローブ顕微鏡(SPM)の基礎・応用技術の組織的発展を目標に活動しています。
167委員会のHPはこちら
http://www.npt167.jp/
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CMPプロセス・材料特性評価機

CMPプロセス・材料特性評価機

TriboLab CMP

CMPプロセス・材料特性評価システム
TriboLab CMP

TriboLab CMPは高い堅牢性を備えたブルカーの摩擦摩耗試験機UMT TriboLabをベースに開発された、CMP(化学機械研磨)プロセス開発向けの評価において高いパフォーマンスを提供します。CMPプロセスで用いるパッド・スラリーなどの消耗材評価に対し、幅広い研磨圧力0.0550psi)及び、回転速度(1500rpm)、摩擦係数計測、AE信号(アコースティック・エミッション)、サンプル温度計測などが可能となります。

ブルカーのTriboLab CMPプロセス・材料評価システムは、信頼性が高く、費用対効果の高いベンチトップ型のウエハ化学研磨プロセス環境を再現を可能にします。