製品案内

ナノ表面計測システム製品ラインナップ

マテリアルAFM (原子間力顕微鏡)

大型試料用AFM、高分解能・小型試料用AFM(原子間力顕微鏡)をはじめ多種多様のAFM(原子間力顕微鏡)をラインナップ

高速イメージ、高分解能AFM測定、定量的機械特性の測定が可能なバイオAFM、自動フォーススペクトロスコピー、フォース検出光ピンセットのライフサイエンス向けソリューション

AFMとパルスチューナブルレーザー及びサーマルプローブの融合で10nm以下領域(空間分解能)における赤外スペクトル、赤外吸収マップ、AFM像、表面硬さ像、熱分析等、局所分析が可能になる高分解能多機能測定装置

様々なアプリケーションを可能にするAFM(原子間力顕微鏡)/SPM(走査型プローブ顕微鏡)/ nanoIR用プローブ

CMP(化学機械研磨)プロセス開発向けの卓上型評価機。CMPプロセスで用いるパッド・スラリーなどの消耗材評価に対し、幅広い研磨圧力、回転速度、摩擦係数計測、AE信号(アコースティック・エミッション)、サンプル温度計測等が可能

300mmウェハ対応、ブルカー独自のPeakForce Tappingモードを大型機で実現した全自動大型自動原子間力顕微鏡等をご紹介

300mmウェハ全面マッピング、SiC基盤向け欠陥自動判別、高速X線トボグラフィー等の化合物半導体向け自動X線検査や薄膜測定の最先端X線装置を紹介

EUV対応フォトマスクを高速、高精度に修正を実現する各種リペア装置をご紹介

顕微鏡を圧痕観察を行わず硬さ・粘弾性計測を可能にする微小硬さ・機械物性試験機、試料の変形や破壊の挙動をリアルタイムで観察が可能なピコインデンターを紹介

モジュール交換型、あらゆるトライボロジー評価試験を一台にコンパクトに集約。市場でもっとも広く使われている多機能摩擦摩試験機 UMT TriboLabを紹介

白色光干渉型顕微鏡

リアルカラー対応の高性能、簡易型、大型試料対応をはじめとする3次元白色光干渉型顕微鏡製品

汎用、大型ステージ対応の触針式プロファイリングシステム製品を紹介

ナノ表面計測システム取り扱い製品

原子間力顕微鏡(マテリアルAFM、バイオAFM、ナノスケール赤外分光、AFMプローブ)

3次元白色光干渉型顕微鏡 触針式プロファイラー

多機能摩擦摩耗試験機 CMPプロセス・材料特性評価装置

ナノインデンテーション

半導体自動AFM装置 

半導体向けⅩ線計

半導体フォトマスクリペア


ナノ表面計測システムでは、機械特性・電気特性等の様々な特性をナノスケールで計測可な大型基板対応高分解能原子間力顕微鏡(AFM)や生体に最適な液中測定に特化したバイオAFM、広範囲なエリアの粗さ・形状を高速非破壊で計測可能な3次元白色光干渉型顕微鏡(オプティカルプロファイラー)、膜厚計測のゴールドスタンダードとなる触針式段差計(スタイラスプロファイラー)、材料のトライボロジーが可能な摩擦摩耗試験機、硬い材料からソフトマテリアルの弾性率試験を行うナノインデンテーション装置など、表面の計測に特化した各種製品群にてお客様に最適なソリューションを提案しています。