触針式プロファイリングシステム (膜厚段差計・粗さ計・表面形状粗さ計)

Dektak XT Stylus Profiler ー 第10世代触針式プロファイリングシステム

究極の測定パフォーマンスへのステップアップ

ブルカー製スタイラスプロファイラ”DektakXT”の特徴は、4Å以下という段差測定再現性を実現する革新的なデザインに表れています。この大きな進歩は、Dektakの50年以上に渡る技術革新と産業的なリーダーシップにより成し遂げられました。これまでの50年に渡るDektakの世界に 先駆ける技術を組み合わせることで、DektakXTはR&DからQCにおけるプロセス開発の測定管理を可能にする究極の測定パフォーマンス、使いやすさ、測定機としての偉大なる価値を提供します。10世代に渡る科学技術のブレイクスルーを盛り込んだDektakXTは、マイクロエレクトロニクス、半導体、太陽光パネル、高輝度LED、医療系技術、有機向き材料科学分野において重要となるナノメートルレベルの表面形状測定を可能にします。

Dektak XT

製品群

触針式プロファイリングシステム (6inch XY & Θ)

大型ステージ対応触針式プロファイリングシステム (12inch XY & Θ)

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イベント・セミナー情報

ブルカージャパン(株) ナノ表面計測事業部は、ナノプローブテクノロジー第167委員会の企業会員です。 ナノプローブテクノロジー第167委員会とは日本学術振興会の設置する61の産学協力研究委員会の1つであり、走査型プローブ顕微鏡(SPM)の基礎・応用技術の組織的発展を目標に活動しています。