スタイラスシステムの性能は三つの基本的な要因により特徴づけられます。

　１．測定再現性

　２．測定時間

　３．使い易さ

これらの要因はデータ品質と作業効率に直接的に関係します。DektakProではこれら3つの要因を克服し究極の測定パフォーマンスを実現するために、革新的な構造と最上位レベルのソフトウェアを備えています。

DektakProには著しい進化が導入されており、4Åという比類なき測定再現性が得られることが特徴です。シングルアーチ構造の採用によりDektak Proはより剛性を増し、音響ノイズや地震などの環境ノイズに対し耐性が増しています。アーチ構造を補助すべく、ブルカーは装置全体のエレクトロニクスも著しく向上させ、温度変化を改善しました。これらの回路設計における最適化”スマートエレクトロニクス”により、エラーの元となるノイズを最小限に抑え、10nm以下の段差でも高精度で測定できるようになりました。これらシングルアーチ設計とスマートエレクトロニクスの組み合わせにより従来に比べはるかに低いノイズフロアを実現し、DektakProによってより一段と高精度・高信頼の測定が可能となりました。

Dektak Proのシングルアーチ構造とスマートエレクトロニクスにより高い測定再現性を実現

DektakProではユニークなダイレクトドライブスキャンステージを用いることで、分解能とノイズフロアを低下させることなくスキャン間の時間短縮を実現しています。これにより、従来のスタイラスプロファイラで時間を要する処理であった広範囲の3Dマップやストレス測定時の長距離スキャンの高速化を達成しました。結果として、DektakProでは今までの業界から信頼されるデータ品質と測定再現性を維持したまま、測定時間を最大40%向上させることが出来ました。

更なる特徴として、DektakProは白色光干渉型顕微鏡でも採用されているブルカー製64ビットパラレル処理システムソフトウェア”Vision64”を採用していることがあげられます。Vision64ではフィルター処理やデータベース解析と同様に、広範囲の3Dデータを素早く表示することが出来ます。Vision64は数ある制御用ソフトウェアの中でも最も洗練され、且つ直観的に操作できるインターフェイスをも兼ね揃えています。これにより、DektakProでは測定準備や自動測定が簡単化され、ルーチン測定をより早く、より容易に行うことが出来ます。

スタイラスプロファイラでは、多岐に渡るサンプル測定を行うためには、各測定に適したサイズのスタイラスを使用する必要が有ります。しかしながら、スタイラスの交換作業は簡単ではなく、注意力と集中力を求められる作業となってしまっています。よって、スタイラス交換を素早く簡単に行うことが出来る機構を備えていることは、強く求められている項目の一つでした。DektakProではこの要望に対処すべく、斬新なセルフアライメントシステムを搭載し、難しくて時間のかかるスタイラス交換を、ミスの発生を最小限に抑えながら行うことが出来ます。更に、あらゆるアプリケーションへの適用を目指し、ブルカーは、深いトレンチに対応したハイアスペクト比の針を含め、最広い範囲に渡る標準スタイラスとカスタムスタイラスを提供します。

DektakProは容易にスタイラス交換が可能な機構を備え、各アプリケーションに適したスタイラスへの変更への負荷が最小限になります。

DektakProは革新的な構造を有していますが、それをより完璧に近づける手助けをするのがブルカー製の操作解析システムソフトウェア”Vision64”です。Vision64では最も機能的で且つグラフィカルなインターフェイス、直観的な操作ワークフロー、ユーザー設定型自動測定機能を駆使して高速かつ包括的なデータ取得と解析が可能になります。測定パラメータの入力は合理的なワークフローと共に一つのウィンドウに集約され、使用頻度の少ない人でも操作方法を思い出しやすく、熟練者には基本設定に煩わしさを感じさせない仕様となっています。

データ測定後のデータ解析は、自動レベリング、自動段差検出、フィルター処理により容易に行うことが出来ます。

レシピを用いたルーチン解析でも、実験的に多数の計算処理を含んだ解析でも、Vision64に搭載されているデータアナライザーはデータにどのような計算処理が行われているか、更にこれからどのような処理化可能なのかを表示してくれます。　

さらにVision64では、ラインスキャン状況、サンプル表面における針先端のライブ画像、データ測定の残り時間、3Dマップデータの測定状況など、システムの進行状況を常に表示することが出来ます。 これらの視角的な機能により、データ測定状況を容易に把握することが出来ます。

DektakProに搭載されたVision64により、測定操作とデータ解析が 飛躍的に簡単になります。

3Dマップデータ解析オプションによりリアルタイムなデータ表示が可能になります。