3次元白色光干渉型顕微鏡
ベンチトップ型高性能 非接触3次元 白色光干渉型光学顕微鏡 ContourX-100／200/500
自動化機能対応 ハイエンドベンチトップモデル白色光干渉型顕微鏡
ContourX-500
ContourX-500 Optical Profilometerは、世界で最も包括的な自動化ベンチトップシステムで、高速で非接触の3次元表面形状測定を実現します。ブルカー独自のチップ/チルト式光学ヘッドを搭載したこのシステムは、トラッキングエラーを最小限に抑えながら、様々な角度から表面形状を測定するための完全なプログラムが可能です。ゲージを搭載したContourX-500は、高いZ軸分解能と精度を誇り、ブルカーの白色光干渉法(WLI)フロアスタンド型モデルで認められたすべての利点を、省スペースでコンパクトな設置面積で提供します。
大型試料対応ハイエンド 非接触3次元 白色光干渉型光学顕微鏡 ContourX- 1000
操作性の向上、充実したデータレポート機能、2000枚を超えるデータステッチング計測の実現、膜厚計測、加熱、冷却環境で測定可能とした対物レンズラインナップ等、研究開発から生産管理にいたる様々な用途に答える形状情報を、高精度かつ非接触3次元で高速に提供します。
ContourX-1000は、ブルカー特許のチップ/チルトヘッド構造、自己校正レーザーリファレンス、パターン認識、レシピの携帯性という業界に特化した組み合わせを特徴としています。自己調整測定モード USI（Universal Scanning Interferometry法） は、最適な測定モードを自動的に決定し、また、ガイド付きでシンプルなVisionXpressインターフェースは、様々な試料の表面形状で妥協のない測定と高いスループットを実現します。
大型試料対応 白色光干渉型顕微鏡 NPFLEX- 1000
光学部品、自動車部品、インプラント品、切削加工部品等、評価の為に切りだしや加工を好まない試料をそのまま計測できるワイドステージ構造を実現した白色光干渉粗さ計です。また±45度まで計測ヘッドを傾けられるシステム構造は、あらゆる角度から高精度計測を実現します。（試料搭載可能スペース：304mmD x 304mmW x 350mmH）また、画期的な独自のBoreScopeレンズを用いれば、Φ50mmまでのボア内壁の粗さ測定が可能となります。
NPFLEX-1000は、大型ガントリとスイベルヘッドの組み合わせ設計により、自動車、医療、大規模積層造形分野の精密加工のQA/QCにおいて、大型パーツの難しい局所表面へのアクセスを可能にする独自のゲージング対応ソリューションを提供します。
また、NPFLEX-1000は、対物レンズの下に300mm以上のZスペースを確保し、スイベルヘッドと超長作業距離対物レンズにより、究極のサンプルサイズの柔軟性を提供します。さらに、オプションのフォールドミラーにより、サンプルの高スロープ面や側面へのアクセスも大幅に拡大しました。10秒以内の高速自動測定と完全な解析は、生産環境におけるスループットの重要な向上につながります。
大型基板対応 白色光干渉型顕微鏡 Contour SP
最大 610mm x 610mmサイズまでのさまざまな実装基盤の自動計測を可能にした光干渉型顕微鏡です。CogneX搭載により、フィデューシャルアライメントやプレアライメント動作を行いテキスト形式でインポートされる任意指定箇所の自動測定を可能にします。ライン＆スペース、ビア、アンカー、リセッション計測を高性能かつ高速に行う品質管理用専用システムです。
300mm対応全自動白色光干渉型顕微鏡 Contour GTX-ARM
