3次元白色光干渉型顕微鏡

ベンチトップ型高性能 非接触3次元 白色光干渉型光学顕微鏡 ContourX-100/200/500

Contour Elite X
Contour Elite X

高コストパフォーマンス エントリーモデル 白色光干渉型顕微鏡 
ContourX-100

ContourX-100は、数十年にわたるブルカー独自の白色光干渉計(WLI)の革新的な技術を取り入れた合理化されたパッケージで、妥協のない2D/3Dの高解像度測定機能を提供します。ゲージ対応のベンチトップシステムは、操作画面は直感的でわかりやすいインターフェースを提供し、精密機械加工された表面、厚膜、トライボロジーアプリケーション等向けにプログラムされたフィルター機能や分析機能の豊富なライブラリに直感的にアクセスし、高速、高精密な計測データを提供します。

表面テクスチャ計測にフレキシブルに対応 ベンチトップモデル 白色光干渉型顕微鏡 
ContourX-200

ContourX-200 Optical Profilometerは、高度な特性評価、カスタマイズ可能なオプション、使いやすさを完璧に融合させた、クラス最高の高速、高精度、再現性のある非接触3次元表面形状測定装置です。ゲージを搭載した小型のシステムは、広域対応の測定範囲 5MPデジタルカメラと新型の電動XYステージにより、2D/3Dの高分解能測定を実現しました。ContourX-200は、業界で最も先進的な操作・解析ソフトウェアであるVision64を搭載しています

自動化機能対応 ハイエンドベンチトップモデル白色光干渉型顕微鏡 
ContourX-500

ContourX-500 Optical Profilometerは、世界で最も包括的な自動化ベンチトップシステムで、高速で非接触の3次元表面形状測定を実現します。ブルカー独自のチップ/チルト式光学ヘッドを搭載したこのシステムは、トラッキングエラーを最小限に抑えながら、様々な角度から表面形状を測定するための完全なプログラムが可能です。ゲージを搭載したContourX-500は、高いZ軸分解能と精度を誇り、ブルカーの白色光干渉法(WLI)フロアスタンド型モデルで認められたすべての利点を、省スペースでコンパクトな設置面積で提供します。

大型試料対応ハイエンド 非接触3次元 白色光干渉型光学顕微鏡 Contour Elite-X / GT-X

Contour Elite X

リアルカラー対応 ハイエンド白色光干渉型顕微鏡
Contour Elite-X

優れた3D光学計測と高質カラーイメージングが融合した64ビット対応の最新型、高性能白色光干渉型顕微鏡です。Bruker独自の自動傾斜調整ヘッドにより、傾斜調整時の測定中心の位置ずれを回避し、スループット向上を実現しました。最大300㎜の自動XYステージを搭載し、大型サンプルの測定に最適なシステムです。操作性の向上、充実したデータレポート機能、2000枚を超えるデータステッチング計測の実現、膜厚計測、加熱、冷却環境で測定可能とした対物レンズラインナップ等、研究開発から生産管理にいたる様々な用途に答える形状情報を、高精度かつ非接触3次元で高速に提供します。

ハイエンド白色光干渉型顕微鏡
Contour GT-X

64ビット対応の高性能白色光干渉型顕微鏡です。操作性の向上、充実したデータレポート機能、2000枚を超えるデータステッチング計測の実現、膜厚計測、加熱、冷却環境で測定可能とした対物レンズラインナップ等、研究開発から生産管理にいたる様々な用途に答える形状情報を、高精度かつ非接触3次元で高速に提供します。


大型試料用 白色光干渉型顕微鏡 NP FLEX

NPFLEX

大型試料用 白色光干渉型顕微鏡
NP FLEX

光学部品、自動車部品、インプラント品、切削加工部品 等 評価の為に切りだしや加工を好まない試料をそのまま計測できるワイドステージ構造を実現した白色光干渉粗さ計です。また±45度まで計測ヘッドを傾けられるシステム構造は、あらゆる角度から高精度計測を実現します。
(試料搭載可能スペース:304mmD x 304mmW x 350mmH)

また、画期的な独自のBoreScopeレンズを用いれば、Φ50mmまでのボア内壁の粗さ測定が可能となります。


大型基板対応 白色光干渉型顕微鏡 Contour SP

ContourSP

実装基盤専用 白色光干渉型顕微鏡
ContourSP

最大 610mm x 610mmサイズまでのさまざまな実装基盤の自動計測を可能にした光干渉型顕微鏡です。CogneX搭載により、フィデューシャルアライメントやプレアライメント動作を行いテキスト形式でインポートされる任意指定箇所の自動測定を可能にします。ライン&スペース、ビア、アンカー、リセッション計測を高性能かつ高速に行う品質管理用専用システムです。

300mm対応全自動白色光干渉型顕微鏡 Contour GTX-ARM

ContourSP

300mmウェハ用全自動白色干渉測定システム
Contour GT-X ARM

生産管理における全自動測定のための光干渉型顕微鏡EFEMハンドラーソリューションです。最大300mmウエハに対応し、Brukerが培った白色干渉計測技術によりハイスループットで3Dパラメータを提供します。FFU、イオナイザー、シングル/デュアルローダー、SECS-GEMのオプションに対応。


製品比較

資料請求はこちら
デモ・使用・測定方法のお問合せはこちら
故障・保守・移設・トレーニングのお問合せはこちら
故障・保守・移設・トレーニングのお問合せはこちら

イベント・セミナー情報

ブルカージャパン(株) ナノ表面計測事業部は、ナノプローブテクノロジー第167委員会の企業会員です。 ナノプローブテクノロジー第167委員会とは日本学術振興会の設置する61の産学協力研究委員会の1つであり、走査型プローブ顕微鏡(SPM)の基礎・応用技術の組織的発展を目標に活動しています。