自動化機能対応 ハイエンドベンチトップモデル白色光干渉型顕微鏡
ContourX-500
ContourX-500 Optical Profilometerは、世界で最も包括的な自動化ベンチトップシステムで、高速で非接触の3次元表面形状測定を実現します。ブルカー独自のチップ/チルト式光学ヘッドを搭載したこのシステムは、トラッキングエラーを最小限に抑えながら、様々な角度から表面形状を測定するための完全なプログラムが可能です。ゲージを搭載したContourX-500は、高いZ軸分解能と精度を誇り、ブルカーの白色光干渉法(WLI)フロアスタンド型モデルで認められたすべての利点を、省スペースでコンパクトな設置面積で提供します。
リアルカラー対応 ハイエンド白色光干渉型顕微鏡
Contour Elite-X
優れた3D光学計測と高質カラーイメージングが融合した64ビット対応の最新型、高性能白色光干渉型顕微鏡です。Bruker独自の自動傾斜調整ヘッドにより、傾斜調整時の測定中心の位置ずれを回避し、スループット向上を実現しました。最大300㎜の自動XYステージを搭載し、大型サンプルの測定に最適なシステムです。操作性の向上、充実したデータレポート機能、2000枚を超えるデータステッチング計測の実現、膜厚計測、加熱、冷却環境で測定可能とした対物レンズラインナップ等、研究開発から生産管理にいたる様々な用途に答える形状情報を、高精度かつ非接触3次元で高速に提供します。
64ビット対応の高性能白色光干渉型顕微鏡です。操作性の向上、充実したデータレポート機能、2000枚を超えるデータステッチング計測の実現、膜厚計測、加熱、冷却環境で測定可能とした対物レンズラインナップ等、研究開発から生産管理にいたる様々な用途に答える形状情報を、高精度かつ非接触3次元で高速に提供します。
光学部品、自動車部品、インプラント品、切削加工部品 等 評価の為に切りだしや加工を好まない試料をそのまま計測できるワイドステージ構造を実現した白色光干渉粗さ計です。また±45度まで計測ヘッドを傾けられるシステム構造は、あらゆる角度から高精度計測を実現します。
(試料搭載可能スペース:304mmD x 304mmW x 350mmH)
また、画期的な独自のBoreScopeレンズを用いれば、Φ50mmまでのボア内壁の粗さ測定が可能となります。
最大 610mm x 610mmサイズまでのさまざまな実装基盤の自動計測を可能にした光干渉型顕微鏡です。CogneX搭載により、フィデューシャルアライメントやプレアライメント動作を行いテキスト形式でインポートされる任意指定箇所の自動測定を可能にします。ライン&スペース、ビア、アンカー、リセッション計測を高性能かつ高速に行う品質管理用専用システムです。
ブルカージャパン(株) ナノ表面計測事業部は、ナノプローブテクノロジー第167委員会の企業会員です。 ナノプローブテクノロジー第167委員会とは日本学術振興会の設置する61の産学協力研究委員会の1つであり、走査型プローブ顕微鏡(SPM)の基礎・応用技術の組織的発展を目標に活動しています。 |