(※Contour GT/Elite-I, ContourGT/EliteX, NPFLEXに標準装備)

傾斜調整がステージ側に備わる構造は、焦点位置と傾斜調整 機構の軸中心が常に同じ位置でないために試料高さが異なることで傾斜調整中に焦点や測定座標がずれてしまいます。それに対してヘッド側に備わる構造であれば焦点位置を軸中心とし、振り子のように傾斜調整を行う為 試料厚みの違うサンプルでも焦点や測定座標がずれません。操作性・測定速度を極限まで向上する、ブルカー独自構造です。

(※ContourGT/Elite-K,Contour GT/Elite-I, ContourGT/Elite-X, NPFLEXに対応)

マイケルソン干渉構造がもつ特徴を生かしたとてもユニークな対物レンズです。特別仕様のチャンバーとの組み合わせにより、様々な条件で測定が可能です。表面形状評価の幅が飛躍的に広がります。

環境対応レンズの構造

加熱・冷却対応チャンバー（コレット工業株式会社製）

(※ContourGT/Elite-K,Contour GT/Elite-I, ContourGT/Elite-X, NPFLEXに対応)

TTM型対物レンズは、外部光源を用いることで一般的な対物レンズでは対応できないハイアスペクト形状を高精度に測定できます。

測定可能なアスペクト比

SEM像

ディープトレンチ(Si基板)

（※Contour GT/Elite-Xにオプション対応）
生産管理環境を意識したブルカー社独自の制御機構です。長期間連続運用時に発生するメカニカルドリフトをキャンセルする機能です。測定用光源とは別に、Zスキャン量をモニタリングする参照レーザー(HeNeレーザー）をリファレンスに、測定時のZスキャン量をリアルタイムに最適化しながら測定します。常に自己校正を行いながら測定を続けることで、類のない驚異的な測定再現性と安定性を実現します。マスターシステムや、生産管理用途における複数台のシステムを運用するケースでは、長期間の安定した測定結果とともにシステム間の相互関係を最小限におさえることで生産管理能力を高めます。

Reference Signal機能の測定実力検証  段差値     4280 nm

Contour Eliteシステムのスタジアムライト機構が、4方向から試料表面を照射することで試料表面の反射光量を最適化し、カラー情報の劣化を低下させました。Contour Elite全ての機種に標準対応しています。

対物レンズのビームスプリッターで分光された試料からの反射光によりこの情報を引き出すことで鮮明な色情報を干渉対物レンズも取得することができます。

高密度カラーCCDとホワイトバランス機能により、Z方向の全焦点による真のカラー情報と干渉縞から計算される凹凸情報を1回のスキャンで同時に取得可能です。

Specular Reflection　　　　　　　　　　Diffuse Reflection

（対象システム：NPFLEX)

非破壊でボアシリンダー側壁を実現します。自動回転ステージとの組み合わせでⅩ方向内壁の一周測定も可能です。

ボア直径45㎜以上。最深150 ㎜。

（対象システム：NPFLEX)

非破壊で側壁の表面測定を実現します。自動回転ステージとの組み合わせでX方向の一周測定も可能です。

標準型フォールドミラーの測定可能域

（対象システム：NPFLEX）

大型試料の傾斜部測定にパワフルに対応。手動調整可能角度±45°　

(Contourシリーズ全機種、NPFLEXに対応可能）

CCDカメラを物理的に交換することなく、蛍光顕微鏡等で利用されるソフトウェア上でCCD画素間の情報を作り出し高密度測定を疑似的に行うことができるユニークな測定モードです。ソフトウェアのアップグレードだけで対応できますので、必要に応じた高密度測定の運用が可能です。

各解析結果、写真やロゴなどのファイル、テキスト、レポートに必要な出力フォーマットを自由に制作する事が可能です。出力フォーマットはファイル管理されますので、別装置での再現も極めて簡単に行えます。

測定した結果や履歴、保存データすべてがイメージ画像として確認できますので、データの取り扱いが飛躍的に向上します。

大きくて見やすいアイコンにより測定開始、キャンセル、一時停止の指示も簡単に行えます。

解析ルーチンが明確になることで、解析結果の装置間における相互関係が飛躍的に高まります。また、測定データを異なる複数の解析に並列処理ができますので、解析の自由度が無限に広がります。解析ルーチンはファイル管理されますので別装置での再現も極めて簡単に行えます。