□ハイアスペクト試料
　　□広範囲測定
　　□膜厚測定
　　□環境対応

　　□高倍率対応
　　□膜厚測定
　　□急勾配形状
　　□AcuityXR対応

　　□調査同距離
　　□広範囲測定
　　□側壁測定対応

ひとつの測定モードで幅広い測定レンジをカバーするとともに、アプリケーションに合わせた最適な測定モードの選択も可能です。

用途に合わせたフレキシブルな運用を実現します。

従来の代表的測定モードVSI/CSI、PSIの長所を組み合わせたモードです。試料表面からの干渉信号、光強度信号、モジュレーション信号情報を最適化し、Å～100μオーダーのZ操作領域にいて形状測定を可能にします。

干渉信号を二乗検波法と独自の信号処理により、効率的に高さ情報を抽出。測定視野内に反射率が異なる材料が混在していても、CCDの一画素毎に高さ情報を取得できるため、欠落の無い極めてタフな計測を実現します。

二拘束型の干渉対物レンズで作られる干渉縞には可視光領域すべての波長情報が含まれています

各波長の焦点位置が一点に重なるため、強度信号を合算すると左図のエンベロープカーブが取り出せます。このカーブには各画素の高さ情報が含まれています。

エンベローブカーブから二乗検波法で取り出せる高さ情報(VSI/CSI)と、周囲のフレームから確認できる正弦波を利用し、位相情報を同時に計算（PSI）することで、One mode(VXI)にて高分解能+高レンジ測定を実現します。

超平滑面測定時は、周囲の様々なノイズが影響します。PSIモードは、波長を限定し、各画素の位相差を換算する方式です。1波長分の取り込み時間0.4秒という高速測定により外部ノイズ影響を極めて受けづらい測定原理です。必要以上のスキャンを適用しない、歴史と実績のある極めて効率的且つ効果的な代表的測定原理です。