原子間力顕微鏡(マテリアルAFM)

大型プラットフォームAFM

Dimension シリーズ

Bruker Dimension Icon® 原子間力顕微鏡(AFM)システムは、科学技術・産業分野のナノスケール研究者に、最高の性能、機能性、生産性をもたらします。


世界で最も利用されている大型試料対応AFM プラットフォームをベースにした最新のDimensionシステムは、何十年にもわたる技術革新と顧客のフィードバックを基に開発された、業界をリードするシステムです。

このシステムは、革新的な低ドリフトと低ノイズを提供するために設計されており、ユーザーは数時間でなく数分でアーティファクトフリーの画像を得ることができます。Dimension Icon には、独自のScanAsyst® 自動画像最適化技術が搭載されており、ユーザーのスキルレベルに関係なく、より簡単で高速で安定した結果が得られます。最高レベルのAFM による研究を、高い生産性により、これまでになく簡単に達成することを可能にします。

Dimension FastScan AFM

スキャナ (チップスキャン方式)                                 

Icon Scan Head (5thGen)

  • 独自のクローズドループセンサー設計により、大型試料・チップスキャンAFM では達成できなかった
    オープンループセンサーに匹敵する低ノイズを達成しました。
  • 大幅に低減されたノイズフロアで、Contact モードで原子レベル、Tapping Mode で30pm 未満の
    イメージングが可能です。
  • 高解像度カメラとX-Y ポジショニングにより、より高速で効率的なサンプルナビゲーションが可能
  • 機械特性評価、電気特性評価、走査型電気化学顕微鏡など各種最新のオプションモジュールに対応し、研究の可能性を広げます。

FastScan Head

  • 極限までクローズドループスキャナのドリフトを抑えることにより垂直ノイズは40pm以下の低ノイズを達成しました。
  • 125Hz以上での高速サーベイイメージとTapping mode 20Hz、PeakForceTapping Hzでの高速かつ高品質なイメージが取得可能です。
  • 自動レーザアライメント機能を搭載で、オペレーションをより容易にします。

コントローラー

    NanoScope V コントローラにより、Dimension Icon は、大型試料対応のチップスキャン型AFM では従来見られなかったSN 比で、最大8 枚の画像を同時に表示、取得することができます。この第5 世代コントローラは、高速データキャプチャーと8 チャンネルの高画素密度画像(5120 x 5120)計測を同時に提供し、これまでのAFM ではアクセスできないタイムスケールでナノ領域のチップ- サンプルの相互作用を記録、分析を可能にしました。


    ソフトウェア

    NanoScope ソフトウェアは拡張性を備えたAFMオペレーションにかかわるすべてのコントロール機能を有する独自開発のソフトウェアです。ナビゲーション機能によりユーザーはステップバイステップで測定までの準備を完了することができます。また、データ解析用NanoScope Analysisソフトウェアにより、AFM用にチューニングされた画像補正・フィルタリング、パラメータ解析をシームレスに実行します。

    製品ラインナップ 

    ハイエンドリサーチモデル AFM Dimension XR

    Dimension XR

    ハイエンドリサーチ向けAFM(原子間力顕微鏡)
    Dimension XR 

    数十年に渡る研究&開発実績と技術革新をもとに、ナノスケール研究史上最高性能、高機能、拡張性を備えた1台。FastScan® 、Icon®AFM プラットフォームの最新モデルとなるExtream Research(XR)SPM ファミリーは、ナノメカニカル、ナノ電気およびナノ電気化学特性向けの最先端研究向けにユニークなパッケージソリューションを提供します。また大気、液中、電気または化学反応環境下における材料および活性ナノスケールシステムの定量化を、今までにないほど簡単に実現します。

    Dimension XR  Nano Mechanics         機械特性評価パッケージ

    Dimension XR  NanoElectrical    電気特性評価パッケージ

    Dimension XR  NanoElectroChemial 走査型電気化学顕微鏡パッケージ

    インダストリーモデル AFM Dimension HPI / Dimension Pro

    Dimension HPI

    インダストリー向けAFM(原子間力顕微鏡)
    Dimension HPI 

    原子間力顕微鏡(AFM)であるDimension®ファミリーは、最高の速度と性能から工業用計測用途の長年の実績により高い評価を得ています。量産の生産環境向けに特別に設計されたDimension HPIおよびPROシステムは、多くのAFMモードの自動測定を可能にしながら、品質管理、品質保証、および故障解析のための最大限の使いやすさと運用におけるコンタクト、タッピング、およびPeakForceTapping®モード技術を使用して、ユーザーはプローブとサンプル間の相互作用を正確に制御し、長いチップ寿命と同時に数千回もの反復測定においても正確な結果を提供します。

    Dimension Pro 

    Dimension Proシリーズは200mm/300mmのウエハーのフルアクセスに対応し、Icon/FastScanいずれか、または両方のヘッドが選択できます。標準付属のAutoMetソフトウェアを使えばプログラムされた複数個所の測定をワンクリックで実現します。


    スタンダードモデル 高速・高分解能AFM Dimension FastScan

    Dimension FastScan AFM

    高速・高分解能AFM(原子間力顕微鏡)
    Dimension FastScan 

    分解能やフォースコントロールを損なうことなく、非常に高速なイメージングスピードを達成した初めてのAFMです。Dimension Icon® AFMシステムをベースとし、チップスキャン方式を採用により大口径から小さなサイズまでサンプルの大きさ・重量に制限されません。大気中、液中ともに測定ができるため、高性能AFMで得られる高分解能イメージが1台のシステムで得られます。サンプル上で測定個所を探すときは125Hz以上の高速で測定可能で、大気中、液中にかかわらず数秒で1イメージが取得できます。

    本モデルにはFastScanヘッドおよびIconの両スキャンヘッドが含まれます。

    スタンダードモデル 高性能大型試料用AFM Dimension Icon

    Dimension Icon AFM

    高性能大型試料用AFM(原子間力顕微鏡)
    Dimension Icon 

    大型試料測定、高分解能、操作性、多機能、拡張性のすべてのニーズに合致し、従来製品を遙かに凌駕したAFM(原子間力顕微鏡)です。超低ノイズ・低ドリフトのクローズドループスキャナー搭載。更に新技術のPeakForce Tapping技術によりワンプッシュオペレーションを可能にしたScanAsyst機能及び定量的機械特性マッピング機能のPeakForce QNMを搭載可能にした画期的AFMです。

    エントリーモデル 汎用大型試料用AFM Dimension Edge

    Dimension Edge AFM

    汎用大型試料用AFM(原子間力顕微鏡)
    Dimension Edge 

    高性能クローズドループスキャナーを搭載した大型試料対応AFMです。高い操作性と大型試料に対応しながら、非常にコンパクトな設計に成功し、従来製品と比較して大型AFMをより価値のある価格での提供を可能にしました。高い基本性能と大変高いコストパフォーマンスを持つAFMです。

    製品比較 

    Dimension シリーズの性能とオプションモジュール比較がご覧いただけます。






    小型プラットフォームAFM

    製品ラインナップ 

    高分解能・小型試料用AFM MultiMode8

    MultiMode 8 AFM

    高分解能・小型試料用AFM(原子間力顕微鏡)
    MultiMode 8 

    MultiMode 8は、世界最多の納入実績を誇るMMAFM型高分解能AFMに、次世代型高性能AFMコントローラー(NanoScope V)を搭載し、更に新技術のPeakForce TappingAFM技術によりワンプッシュオペレーションを可能にしたScanAsyst機能及び定量的機械特性マッピング機能のPeakForce QNMを搭載した画期的なAFMです。

    汎用AFM Innova

    Innova AFM

    汎用AFM(原子間力顕微鏡)
    Innova 

    小型ながら多くの機能を満載したAFMで、コストパーフォーマンスに大変優れています。一般的なAFM走査技術は勿論、ダークリフト(電気特性評価時に有効)・3軸センサー付きのスキャナなど最新の技術も搭載しています。光学顕微鏡・防音フード一体型です。TERSにも対応しています

    ナノサイエンスAFM JPK NanoWizard 4 NanoScience

    Innova AFM

    ナノサイエンスAFM(原子間力顕微鏡)
    JPK NanoWizard 4 NanoScience 

    材料と高分子化学のためのAFM。ナノメカニクス、電気化学から電気、磁気測定までを網羅した一台。クローズドループ原子分解能とXY100μmの広範囲スキャンレンジで、最速3秒/1画像のスキャンスピードを備え、AFMヘッドにはクローズドループスキャンとディフレクションシステムを搭載し、またデジタルVortris™コントローラーが低ノイズにて高速による信号処理を行います。リアルなフォースカーブに基づいたQI™モードの搭載により、高分解能の定量イメージングをスピーディーで簡単に取得することが可能です。鋭いフォース感度と高性能フォース制御により、脆く柔らかいサンプル、粘着性の高い試料にも対応します。

    環境ソリューション

    冷却・加熱ステージ

    -30から250°までの加熱冷却オプションステージをご用意しています。

    環境制御Glove Box 大気非暴露AFM

    AFM向けに振動対策された専用GBは、酸素・水分子を1ppm以下で制御します。真空AFMと異なり作業性が良く、測定前・測定後も大気暴露機会なしで試料のハンドリングを実現します。ワークスペースが広く、オプションモジュールの拡張や他の実験機器を内部に設置することが可能です。リチウムイオンバッテリー評価や電気化学試験に最適です。





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    イベント・セミナー情報

    ブルカージャパン(株) ナノ表面計測事業部は、ナノプローブテクノロジー第167委員会の企業会員です。 ナノプローブテクノロジー第167委員会とは日本学術振興会の設置する61の産学協力研究委員会の1つであり、走査型プローブ顕微鏡(SPM)の基礎・応用技術の組織的発展を目標に活動しています。