様々ある非接触3D測定機の位置づけ、表面粗さ計測へ有効な干渉方式の特徴・ユニークな測定方法や、測定リードタイムを大幅に短縮可能な3DAを活用した最新の測定技術をご紹介します。
【講師名】 小原 史彦(株式会社ユーロテクノ)、秋本 壮一(ブルカージャパン株式会社)
11月6日(火) 13:00~14:00
会議棟6F 606会議室
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3次元白色光干渉型顕微鏡(CSI)  
Contor X Series
  
干渉計によるメリット
 
    ● 多機能摩擦摩耗試験機 UMT TriboLab
  45種類のASMT規格がこれ一台で
ブルカージャパン
ナノ表面計測事業部
触針式薄膜段差計 Dektak
Dektak Series
  
触針式薄膜段差計Dektakシリーズは50年に渡り世界10,000台以上の導入実績を持つ、世界で最も採用されている膜厚測定器のゴールドスタンダードモデルです
● ナノインデンテーションシステム Hysitron TI980 
  微小領域での最先端材料の機械的特性を評価
 
      ナノインデンテーション
 
      ナノスクラッチ
 
      ナノ摩耗
 
      ナノDMA
 
       
      SPMイメージ
 
      環境制御
 
      電気特性
● 電子顕微鏡組込み型インデンター   Hysitron PI85/ PI88 / PI95 
  顕微鏡でナノスケールでの力学挙動を定量的にリアルタイムで捉える