OMCL-AC160TSシリーズ & OMCL-AC240TSシリーズ完全後継品

Bruker AFM Probes

オリンパス株式会社製マイクロカンチレバーOMCL-AC160TS-R3/C3& OMCL-AC240TS-R3/C3シリーズの販売終了に伴い、ブルカーではその完全後継品となるタッピングモード用純正シリコンカンチレバーOTESPA-R4/OLTESPA-R4を販売開始致しました。

完全後継品

「完全後継品」:プローブ設計、プローブ製造装置、製造プロセスが同じであるため、従来のオリンパス株式会社製マイクロカンチレバーと同じ使用方法・条件でお使い頂くことが可能です。
オリンパス株式会社 マイクロカンチレバーの生産終了に伴い、OMCL-AC160TSシリーズ & OMCL-AC240TSシリーズ完全後継品となる、ブルカータッピングモード用シリコンカンチレバーOTESPA-R4 / OLTESPA-R4の販売しております。

高い水平分解能

三角形の形状を持つプローブは、探針先端が安定した鋭さを保っています。実際、背面アルミコート付きのプローブでさえ、探針の先端曲率半径は平均10nm以下となるように作られています。OTESPAプローブは、非常に応用範囲が広く、結晶表面、薄膜、ICデバイスなどの形状を優れた分解能で測定することができます。

先端探針構造

鋭利な探針は、カンチレバー先端に配置されており、探針位置とサンプル測定位置の関係をAFMの光学顕微鏡で観察できるため、簡単、かつ、正確に位置合わせを行うことができます。

Bruker AFM Probes
Bruker AFM Probes

OTESPA-R4(OMCL-AC160TS-R3/C3後継品)

優れたQ特性による高分解能イメージング

共振周波数は300kHz(標準値)とバネ定数は26N/m(標準値)を両立。タッピングモードにおけるサンプルへのダメージを最小限に抑えます。


OLTESPA-R4(OMCL-AC240TS-R3/C3後継品)

鋭粘弾性測定やソフトサンプルに対応

バネ定数2N/m(標準値)のタッピングモード用シリコンカンチレバーです。ソフトマテリアルの形状評価や粘弾性計測などに最適です。

仕様

型式パック数共振周波数バネ定数長さNom探針形状探針高さ探針半径材質コーティング探針面/反射面
OTESPA-R4 10300kHz26N/m3.7μmテトラヘドラル14μm7μmSiNon/ Al
OLTESPA-R41070kHz2N/m2.3μmテトラヘドラル14μm7μmSiNon/Al


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AFM装置メーカーとして唯一のプローブメーカー

ブルカーは、高性能なAFM装置群と豊富なプローブの両製品を製造している唯一の会社です。製品やアプリケーションにマッチしたプローブを開発・製造することで包括的なソリューションを提供します。また単結晶シリコン、窒化シリコンのみならず、ハイブリッドタイプも製造しており、AFM市場のほとんどのアプリケーションをカバーします。

AFM/SPM各種プローブ仕様について (Bruker AFM/SPM Probes Global Site はこちら

※Bruker NSB(Nano Surface Business)は、高性能なAFM装置群と豊富なプローブの両製品を製造している唯一の会社です。

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AFM/SPM/nanoIR用プローブ
Bruker AFM Probes

マイクロラフネスからトレンチ構造まで様々な形状測定するプローブや、電気特性を測定するための金属コートプローブ、あるいは硬度計測用ダイヤモンドプローブ等、様々なアプリケーションを可能にするAFM/SPM/nanoIRプローブを提供しております。

nanoIRプローブ (Anasys nanoIRシステム用プローブ)


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ブルカージャパン(株) ナノ表面計測事業部は、ナノプローブテクノロジー第167委員会の企業会員です。 ナノプローブテクノロジー第167委員会とは日本学術振興会の設置する61の産学協力研究委員会の1つであり、走査型プローブ顕微鏡(SPM)の基礎・応用技術の組織的発展を目標に活動しています。