多岐に亘るAFMアプリケーションをサポートするプローブ群

Bruker AFM Probes

Bruker　AFMは大変豊富な種類の測定モードを有し、いずれの測定モードにおいても非常に高い性能を保有しています。当社のプローブは、Bruker AFMの性能に合致してその高い性能を引き出し、更に幅広いアプリケーションがカバーできるように豊富な種類を設計・製造しております。

※Bruker NSB（Nano Surface Business）は、高性能なAFM装置群と豊富なプローブの両製品を製造している唯一の会社です。

ブルカージャパン（株）　ナノ表面計測事業部
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従来型汎用Tapping AFM用プローブ
NCHV

長年、標準的ラフネス測定に使用されてきた実績の高いSi単結晶製プローブです。

ローテーションTapping　AFM用プローブ
(RTESP)　MPP-11100

チップが180°回転した形状により、チップとサンプル間のアングルが対称になります。スキャン方向による形状の誤差が少なくなるために、凹凸の大きな表面の測定に適しています。

Si/SiNハイブリッド AFM用プローブ
SNL-10

軟かいバネ定数のシリコンナイトライド製レバー上に、曲率半径の小さなSiプローブをマウントさせた新型プローブです。生体試料等の柔らかい試料の測定に適しています。

ハイアスペクト用FIB加工AFMプローブ
FIB1-100, FIB2-100

先端をFIBで鋭角化したハイアスペクト対応プローブです。半導体等のトレンチ構造の計測に適しています。