MEMS
不良センサー （Failed Sensor）
| アプリケーション： | 自動車/航空業、MEMS |
| 測定技術： | 3次元光干渉粗さ計 |
| 測定に用いた装置： | 3次元光干渉粗さ計 |
| 画像説明： | 白色光干渉計は自動車メーカーの品質テストでのプロトタイプのセンサー評価に重要な役割を果たす。
実用の燃料センサーと実験室のプロトタイプからの摩耗データを比較することで故障の原因などを探し出すことができる。 摩耗のメカニズムを理解することでパーツの再設計を必要とせず、コスト削減が可能となる。 |
マイクロモーター （Micro Motor）
| アプリケーション： | MEMS |
| 測定技術： | 3次元光干渉粗さ計 |
| 測定に用いた装置： | 3次元光干渉粗さ計 |
| 画像説明： | マイクロモーターの3次元光学イメージ。
視野：230umx304um。 データーご提供：CNRI |
加速度計 （Accelerometer）
| アプリケーション： | 自動車/航空業、MEMS |
| 測定技術： | 3次元光干渉粗さ計 |
| 測定に用いた装置： | 3次元光干渉粗さ計 |
| 画像説明： | 加速度計の3次元光学欠陥検査イメージ。
視野：5.5mmx5.5mm データーご提供：CNRI |
マイクロ流体デバイス （Microfluidic Device）
| アプリケーション： | MEMS |
| 測定技術： | 3次元光干渉粗さ計 |
| 測定に用いた装置： | 3次元光干渉粗さ計 |
| 画像説明： | マイクロ流体デバイスの3次元光学イメージ。
視野：5.5mmx5.5mm データーご提供：Erik Miller（AIBN-University） |
Knowlesのマイク （Knowles Microphone）
| アプリケーション： | MEMS |
| 測定技術： | 3次元光干渉粗さ計 |
| 測定に用いた装置： | 3次元光干渉粗さ計 |
| 画像説明： | Knowlesマイクの3次元光学特性評価。 |
マイクロ流体 （Microfluidics）
| アプリケーション： | MEMS |
| 測定技術： | スタイラスプロファイラー |
| 測定に用いた装置： | Dektak |
| 画像説明： | Dektakによるマイクロ流体管の深さ、幅、側壁の角度を測定。
同様にインクジェットプリンターのヘッド、ラボオンチップ、マイクロ推進、マイクロ熱も測定可能。 |
インクジェットノズル （Ink Jet Nozzle）
| アプリケーション： | MEMS |
| 測定技術： | スタイラスプロファイラー |
| 測定に用いた装置： | Dektak |
| 画像説明： | Dektakによるインクジェットノズルカートリッジのイメージ測定。
ノズルの寸法特性はインクの流れと装置の性能に影響を与える。 |