ブルカージャパン(株) ナノ表面計測事業部は、ナノプローブテクノロジー第167委員会の企業会員です。 ナノプローブテクノロジー第167委員会とは日本学術振興会の設置する61の産学協力研究委員会の1つであり、走査型プローブ顕微鏡(SPM)の基礎・応用技術の組織的発展を目標に活動しています。 167委員会のHPはこちら http://www.npt167.jp/ |
高精度・速度・操作性・安全性を備えた業界スタンダード
Dektak 年度末キャンペーン実施中
● 触針式薄膜段差計 Dektak XT-E モデル限定特価
【価格・構成例】
1nm~1mm膜厚段差評価が可能
補正値のいらない信頼性の高い評価システム
価格:¥4,980,000~
期間: ~2021年3月31日迄
【1nmの膜厚段差測定例】
装置名 | DektakXT-E |
---|---|
測定範囲 (Z/Y) | 1nm~1mm / 55μm~55mm |
段差再現性 (σ値) | 0.4Å |
試料ステージ | 100mmXY(手動) |
解析内容 | 粗さ解析、ストレス解析、ペアリングレシオ解析、ヒストグラム解析、 段差値自動計算、各種フィルタリング |
スタイラス | 2μm もしくは 12.5μm |
防振台 | 卓上型空気ばね式防振台(コンプレッサーは含まれません) |
搬送 | 混載便にて事前発送(立上げ用CD付き) |
【簡単操作】
型式名 | XT-E | XT-S | XT-A | XT-L |
---|---|---|---|---|
触圧 レンジ | 1mg~ 15mg | 1mg~ 15mg | 1mg~ 15mg | 0.03m~ 15mg |
Z方向分解能 | 0.1nm | 0.1nm | 0.1nm | 0.1nm |
段差再現性 | 0.4nm (30回連続測定時の1σ) | 0.4nm (30回連続測定時の1σ) | 0.4nm (30回連続測定時の1σ) | 0.4nm (30回連続測定時の1σ) |
試料ステージ | 手動 4 in XY | 手動 4 in XY 360°Θ | 電動 6 in XY 360°Θ | 電動 12 in XY 360°Θ |
資料サイズ最大 | 4inch | 8inchi | 8inchi | 12inchi |
型式名 | XT-E | XT-S | XT-A | XT-L |
---|---|---|---|---|
粗さ解析 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 |
ストレス計算 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 |
ベアリングレシオ解析 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 |
ヒストグラム解析 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 |
段差値自動計算 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 |
マルチリジョン解析 | ― | ― | 〇 | 〇 |
測定面積比計算 | ― | ― | 〇 | 〇 |
体積変動グラフ | ― | ― | 〇 | 〇 |
自己相関解析 | ― | ― | 〇 | 〇 |
X/Y方向 微分解析 | ― | ― | 〇 | 〇 |
型式名 | 6M | D150 | Dektak XT-E |
---|---|---|---|
段差再現性/1σ | 7.5Å | 6Å | 4Å |
最大測定範囲/Z | 262μm | 524μm | 1000μm |
最大データポイント | 60000 | 120000 | 120000 |
スキャン長 | 25.4mm | 0.67-4.29mm | 55mm |
光学顕微鏡 観察範囲 | 2.6mm固定 | 0.67-4.29mm | 1-4mm(可変ズーム) |
ストレス計算 | オプション | オプション | 標準装備 |
OS | DOS | WinXP 32Bit | Win10 64bit |
オフライン解析ソフト | 無し | 無し | ユーザー無制限 Vision64 |
型式 | 6M | D150 | Dektak XT-E |
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抵触圧オプション (0.03mg~) | 可能 | 可能 | 可能 |
多目的 対応 解析ソフト Vision 64Map | x | x | 対応(11ヶ国語 言語対応) |
自動ステージ拡張対応 | x | x | 6インチXY, 60°回転 |
【マルチ言語対応】
Dektakが販売されて50年、常に業界のリーダーとして世界の製造・開発現場で選ばれ続けています。これまでに培われた経験と技術により、安定した測定パフォーマンスと信頼性の高いデータを提供し続けています。本ウェビナーでは、触針式段差計の測定技術について性能・解析・操作面でより役立つ実践的な使い方の紹介、後半では実機によるソフトウェアライブデモを行います。皆様のご参加をお待ちしております。
こんな方におススメ 簡単に段差解析をしたい方:Step detection/Trace analysis 簡単に自動多点測定をしたい方: Automation 簡単に粗さ解析をしたい方: Waviness/Roughness