イベント・セミナー情報
| ブルカージャパン（株） ナノ表面計測事業部は、ナノプローブテクノロジー第167委員会の企業会員です。 ナノプローブテクノロジー第167委員会とは日本学術振興会の設置する61の産学協力研究委員会の１つであり、走査型プローブ顕微鏡(SPM)の基礎・応用技術の組織的発展を目標に活動しています。 167委員会のHPはこちら http://www.npt167.jp/ |
高精度・速度・操作性・安全性を備えた業界スタンダード
Dektak 年度末キャンペーン実施中
対象製品
● 触針式薄膜段差計 Dektak XT-E モデル限定特価
【価格・構成例】
1nm～１mｍ膜厚段差評価が可能
補正値のいらない信頼性の高い評価システム
価格：￥4,980,000~
期間： ～2021年3月31日迄
【1nmの膜厚段差測定例】
| 装置名 | DektakXT-E |
|---|---|
| 測定範囲 (Z/Y) | 1nm～1mm / 55μm～55mm |
| 段差再現性 (σ値) | 0.4Å |
| 試料ステージ | 100mmXY(手動) |
| 解析内容 | 粗さ解析、ストレス解析、ペアリングレシオ解析、ヒストグラム解析、 段差値自動計算、各種フィルタリング |
| スタイラス | 2μm もしくは 12.5μm |
| 防振台 | 卓上型空気ばね式防振台（コンプレッサーは含まれません） |
| 搬送 | 混載便にて事前発送（立上げ用CD付き） |
【簡単操作】
DektakXT シリーズ基本性能表
Vision64 ソフトウェア基本性能
| 型式名 | XT-E | XT-S | XT-A | XT-L |
|---|---|---|---|---|
触圧 レンジ | 1mg~ 15mg | 1mg~ 15mg | 1mg~ 15mg | 0.03m~ 15mg |
| Z方向分解能 | 0.1nm | 0.1nm | 0.1nm | 0.1nm |
| 段差再現性 | 0.4nm (30回連続測定時の1σ) | 0.4nm (30回連続測定時の1σ) | 0.4nm (30回連続測定時の1σ) | 0.4nm (30回連続測定時の1σ) |
| 試料ステージ | 手動 4 in XY | 手動 4 in XY 360°Θ | 電動 6 in XY 360°Θ | 電動 12 in XY 360°Θ |
| 資料サイズ最大 | 4inch | 8inchi | 8inchi | 12inchi |
| 型式名 | XT-E | XT-S | XT-A | XT-L |
|---|---|---|---|---|
| 粗さ解析 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 |
| ストレス計算 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 |
| ベアリングレシオ解析 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 |
| ヒストグラム解析 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 |
| 段差値自動計算 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 |
| マルチリジョン解析 | ― | ― | 〇 | 〇 |
| 測定面積比計算 | ― | ― | 〇 | 〇 |
| 体積変動グラフ | ― | ― | 〇 | 〇 |
| 自己相関解析 | ― | ― | 〇 | 〇 |
| X/Y方向 微分解析 | ― | ― | 〇 | 〇 |
新旧モデル性能比較表
| 型式名 | 6M | D150 | Dektak XT-E |
|---|---|---|---|
| 段差再現性/1σ | 7.5Å | 6Å | 4Å |
| 最大測定範囲/Z | 262μm | 524μm | 1000μm |
| 最大データポイント | 60000 | 120000 | 120000 |
| スキャン長 | 25.4mm | 0.67-4.29mm | 55mm |
| 光学顕微鏡 観察範囲 | 2.6mm固定 | 0.67-4.29mm | 1-4mm（可変ズーム） |
| ストレス計算 | オプション | オプション | 標準装備 |
| OS | DOS | WinXP 32Bit | Win10 64bit |
| オフライン解析ソフト | 無し | 無し | ユーザー無制限 Vision64 |
拡張性（フィールドアップグレード）
| 型式 | 6M | D150 | Dektak XT-E |
|---|---|---|---|
| 抵触圧オプション (0.03mg～) | 可能 | 可能 | 可能 |
| 多目的 対応 解析ソフト Vision 64Map | ｘ | ｘ | 対応（11ヶ国語 言語対応） |
| 自動ステージ拡張対応 | ｘ | ｘ | 6インチXY, 60°回転 |
【マルチ言語対応】
