次世代CMPプロセスに向けたシュミレーション技術ウェビナー

 本ウェビナーでは中央大学の鈴木教和教授をお招きし、次世代CMPのためのプロセスシミュレーション技術をテーマにご発表いただきます。また、ブルカーより卓上CMPプロセス評価装置をご紹介いたします。是非皆様のご参加をお待ちしております

日時2022年12月6日(火) 10:00~11:30 (9:45ログイン受付開始) 
形式ウェビナー(オンラインによるWEBセミナー)※お持ちのPCにてインターネット経由でのご参加となります。インターネットに接続できる環境でお手元のパソコンや各種端末からご参加いただけます。
ウェビナー配信サービスには「GoToWebinar」を利用致します。
(※GoToWebinarをインストール可能なPC、モバイル端末等のご用意が必要となります。)
ご勤務先のセキュリティーポリシーによってはアクセスが許可されていない場合もございます。事前にIT部門の方へご確認願います。ご登録後にウェビナー参加詳細が書かれたメールが届きます。当日は開始10分前までに、メールに記載されたリンクをクリックし、参加します。 
GoToWebinar システム要件はこちら▶ https://bit.ly/3sne6xl
参加費無料(事前登録制)
お申込み下記登録フォームよりお申込み下さい。

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時間 内容  (当日のプログラムは予告なく変更することがございます。)
10:00~10:05
開催のご挨拶 
10:05~10:55

 特別講演 

次世代CMPのためのプロセスシミュレーション技術


急速に進む世界的なDX化推進の潮流にともない,CMPの分野においてもDX技術が注目を浴びています.しかしながら,CMPの基礎科学は未だ確立しておらず,これがデジタル化を阻害しています.このWebinarでは,発表者がこれまでに取り組んできたCMPの基礎科学確立のためのパッド解析技術,プロセスシミュレーション技術,および次世代CMPを指向したCyber-Physical-Systemについて紹介します.これらの技術が,将来の先進的なCMP開発に貢献することを期待しています。


中央大学 理工学部 精密機械工学科 デジタル生産工学研究室

教授 鈴木教和 先生

10:55~11:15

卓上CMPプロセス評価装置“TriboLab CMP”のご紹介


 半導体素子の高密度化・高集積化により、多層化は必須となっているが、その多層化の実現には平坦化技術が非常に重要です。CMP技術には、スラリー・パッド・研磨圧力・研磨速度など多岐にわたるパラメータが複雑に絡み合っており、その条件の最適化は品質及び歩留まり向上のために必須となっています。本セミナーでは、CMPプロセス開発向けの材料特性評価において高いパフォーマンスを発揮すTriboLab CMPのご紹介をいたします。


ブルカージャパン株式会社 ナノ表面計測事業部 アプリケーション部

11:15~11:20

クロージング

特別講演講師


中央大学 理工学部 精密機械工学科 教授   

鈴木 教和 先生


ご経歴

 中央大学理工学部精密機械工学科 教授.神戸大学を卒業後,2000年から(株)日立製作所,2002年から名古屋大学助手.その後,講師,准教授,ブリティッシュコロンビア大学客員教員(2010年,兼任)を経て2021年から現職.博士(工学)



ウェビナーに関するお問合せ

ブルカージャパン株式会社 ナノ表面計測事業部
イベント担当

E-mail : info-nano.bns.jp@bruker.com  , Tel : 03-3523-6361 

ミクロからマクロまで摩擦・摩耗研究のソリューション 

トライボロジー試験を一台に集約

多機能摩擦摩耗試験機 UMT TriboLab
  45種類のASMT規格がこれ一台で

  • 交換容易なモジュール方式による設計と200種類の豊富なオプション
  • 45種類以上のASTM、DIN、JIS規格対応の様々な試験が可能
  • 加熱(400℃・1000℃) 、冷却(-25℃)、湿度(5~85%)の環境制御が可能
  • 1mN~2000Nの幅広い荷重・摩擦力測定を実現する高性能フリクションロードセンサー搭載


ウェビナーアーカイブのご案内

 摩擦摩耗研究のスタンダード UMT TriboLabの紹介と評価事例 Webセミナー〔録画〕

開催日程(終了済)ウェビナータイトル録画視聴受付



2020年5月22日(金)

13:30~14:20

摩擦・摩耗研究のスタンダードUMT TriboLabの紹介と評価事例   

摩擦・摩耗の研究開発用途として、UMT TriboLabは世界で広く使われています。本ウェビナーではUMT TriboLabを実際に研究開発・製造プロセス・品質管理などの現場で用いられている評価事例をご紹介します。 

ご視聴はこちら
※同業の方のご視聴は
ご遠慮ください。



2020年5月22日(金)

14:30~15:30
 WEB DEMO 

白色干渉法を用いたトライボロジー評価技術~基礎から応用~     

3次元白色干渉型顕微鏡は様々な分野で様々なサンプル表面性状の評価を計測するツールの一つであります。 非接触で表面性状を計測することが可能なためにプロセスの過程、実験やテスト前後での評価が可能になります。 本ウェビナーでは3次元白色干渉型顕微鏡の基礎から、摩擦・摩耗の研究開発用途での事例をご紹介いたします。 後半にはウェブ形式のデモを実施いたします。   WEB DEMO 

ご視聴はこちら
※同業の方のご視聴は
ご遠慮ください。

トライボロジーの基礎と評価事例

~60分で学ぶ、実務に役立つ摩擦・摩耗の基礎知識と応用事例~

様々な技術分野において、摩擦・摩耗にかかわる基礎知識は必要不可欠です。昨今では、新しい価値の創造のためのトライボロジー として、低摩擦下による省エネルギーや耐摩耗性向上による低資源化に向けた研究開発が盛んです。本ウェビナーではトライボロ ジーの基礎(評価できる項目など)を実際に研究開発・製造プロセス・品質管理などの現場で用いられている評価事例を交えながら ご紹介します。

・ トライボロジー基礎 ー 摩擦・摩耗・潤滑の考え方
・ ブルカートライボロジー試験機の紹介 - 新モジュールアップデートなど
・ アプリケーション事例

【こんな方におすすめ】
・ トライボロジー試験評価にご興味のある方
・ どのように日々の業務
・研究に活用できるかイメージしたい方

ご視聴方法:ウェブ形式によるオンラインウェビナーです。ご視聴は下記登録フォームよりお願い致します。




様々な材料分野に対応するナノ機械的特性評価装置 

微小領域での最先端材料の機械的特性を評価

ナノインデンテーションシステム Hysitron TI980 
  材料のナノ・マイクロスケールでの硬さ・弾性率等を定量的に評価

  • 独自の特許技術によりフロアノイズ20nN以下での測定を実現
  • 業界最高精度の+/-10nmの測定箇所指定を実現
  • 硬さ試験・動的粘弾性試験からスクラッチ試験までワンクリック測定を可能に
  • 冷却から超高温・湿度制御環境下でナノレベルの測定を実現
  • 硬さ、トライボロジー評価、粘弾性特性など様々な評価技術に対応


ウェビナーアーカイブのご案内

ナノインデンテーションシステムの基礎と実用的評価事例2020

~ナノ機械的特性から微小材料・薄膜の本質に迫る~

ナノインデンテーションは様々な材料のナノ・マイクロスケールにおける硬さ・弾性率などを定量的に評価する手法です。近年、各種材料の小型化、薄膜化、複合化が進むにつれ、微小構造の機械的特性を把握することが材料特性の発現やメカニズム解明において重要になっています。本ウェビナーではナノインデンテーションシステムを用いた様々なナノスケールの機械的特性評価手法の基礎(評価できる項目など)を実際に研究開発・製造プロセス・品質管理などの現場で用いられている評価事例を交えながら分かりやすくご紹介します。

・ ナノスケールの機械的特性評価手法の基礎
(ナノインデンテーション・ナノスクラッチ・ナノDMA)
・ ナノスケールの機械的特性評価手法の実用的事例

【こんな方におすすめ】
・ ナノスケールの機械的特性評価にご興味のある方
・ どのように日々の業務・研究に活用できるかイメージしたい方


ブルカージャパンでは、各種ウェビナーを開催しております。インターネットに接続できる環境でお手元のパソコンや各種端末からご参加いただけます。参加費は無料です。是非この機会に計測技術の知識を深めてみませんか?

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イベント・セミナー情報

ブルカージャパン(株) ナノ表面計測事業部は、ナノプローブテクノロジー第167委員会の企業会員です。 ナノプローブテクノロジー第167委員会とは日本学術振興会の設置する61の産学協力研究委員会の1つであり、走査型プローブ顕微鏡(SPM)の基礎・応用技術の組織的発展を目標に活動しています。