オープニング

「三益スピンプロセッサーのご紹介」　

　半導体ウエハーのウエット処理に多くの実績を持つ三益スピンプロセッサー。幅広いアプリケーションのなかから、パワーデバイス用途で必須となっている薄化されたウエハーへのエッチング技術と洗浄技術を紹介します。ここで求められるナノレベルのプロセス仕上がりを、高分解能で300ｍｍウエハー全面観察を行うことができるAFMで検証されます。

三益半導体工業株式会社　産商事業部　大澤  隆

「300mm大型試料対応原子間力顕微鏡のご紹介」

　小型高性能AFMをベースにしたDimension Pro シリーズは、半導体製造ラインおよび研究開発における半量産・量産工程での使用を前提としたプラットフォームです。AFM測定に対して要求される、精度・再現性・高速測定・自動測定方法、および半導体向けの各種応用事例について説明します。

ブルカージャパン株式会社　ナノ表面計測事業部　アプリケーションエンジニア　鈴木　操

「パワー・化合物半導体向けAFM解析（ナノエレクトロニクス）のご紹介」

　パワー・化合物半導体はスマートフォンなどの小型機器から、5Gの基地局や電車などの大型機器まで様々な分野で使用されています。本講演ではAFMを用いてパワー・化合物半導体の形状測定から電気特性解析例の解析事例についてご紹介します。

ブルカージャパン株式会社　ナノ表面計測事業部　アプリケーションエンジニア　寺山　剛司　

グロージング （Q&A等）