Dektakが販売されて50年、常に業界のリーダーとして世界の製造・開発現場で選ばれ続けています。これまでに培われた経験と技術により、安定した測定パフォーマンスと信頼性の高いデータを提供し続けています。 本ウェビナーでは、触針式段差計の測定技術について性能・解析・操作面でより役立つ実践的な使い方の紹介、 後半では実機によるソフトウェアライブデモを行います。皆様のご参加をお待ちしております。
日時 | 2020年6月25日(木) 13:30~14:30 (13:00ログイン受付開始) |
形式 | ウェビナー(オンラインによるWEBセミナー)※お持ちのPCにてインターネット経由でのご参加となります。 インターネットに接続できる環境でお手元のパソコンや各種端末からご参加いただけます。 ウェビナー配信サービスには「GoToWebinar」を利用致します。 |
参加費 | 無料 |
お申込み | 登録フォームよりお申込み下さい |
【簡単操作】
【マルチ言語対応】
型式名 | XT-E | XT-S | XT-A | XT-L |
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触圧 レンジ | 1mg~ 15mg | 1mg~ 15mg | 1mg~ 15mg | 0.03m~ 15mg |
Z方向分解能 | 0.1nm | 0.1nm | 0.1nm | 0.1nm |
段差再現性 | 0.4nm (30回連続測定時の1σ) | 0.4nm (30回連続測定時の1σ) | 0.4nm (30回連続測定時の1σ) | 0.4nm (30回連続測定時の1σ) |
試料ステージ | 手動 4 in XY | 手動 4 in XY 360°Θ | 電動 6 in XY 360°Θ | 電動 12 in XY 360°Θ |
資料サイズ最大 | 4inch | 8inchi | 8inchi | 12inchi |
型式名 | XT-E | XT-S | XT-A | XT-L |
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粗さ解析 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 |
ストレス計算 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 |
ベアリングレシオ解析 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 |
ヒストグラム解析 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 |
段差値自動計算 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 |
マルチリジョン解析 | ― | ― | 〇 | 〇 |
測定面積比計算 | ― | ― | 〇 | 〇 |
体積変動グラフ | ― | ― | 〇 | 〇 |
自己相関解析 | ― | ― | 〇 | 〇 |
X/Y方向 微分解析 | ― | ― | 〇 | 〇 |
型式名 | 6M | D150 | Dektak XT-E |
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段差再現性/1σ | 7.5Å | 6Å | 4Å |
最大測定範囲/Z | 262μm | 524μm | 1000μm |
最大データポイント | 60000 | 120000 | 120000 |
スキャン長 | 25.4mm | 0.67-4.29mm | 55mm |
光学顕微鏡 観察範囲 | 2.6mm固定 | 0.67-4.29mm | 1-4mm(可変ズーム) |
ストレス計算 | オプション | オプション | 標準装備 |
OS | DOS | WinXP 32Bit | Win10 64bit |
オフライン解析ソフト | 無し | 無し | ユーザー無制限 Vision64 |