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原子間力顕微鏡の基礎トレーニングウェビナー    

ブルカーAFMに実装されている3種類の測定モード理解し、AFMを正しくお使い頂くための基礎トレーニングコース(オンラインセミナー)を開催いたします。
大型全自動AFMの操作画面を使用し説明しますが、測定モードの基礎は研究開発用小型AFMと共通です。
大型全自動AFM、小型AFMユーザーの皆様がご参加頂けるよう、各コースともご都合に合わせて3日程からご選択頂けます。

コース1.原子間力顕微鏡Tapping mode(Profiler mode含む)AFMの基礎と動作原理:40分
コース2.原子間力顕微鏡DT mode(Deep Trench mode) AFMの基礎と動作原理(全自動AFM専用モード):30
コース3.原子間力顕微鏡TrueSense mode(PeakForce Tapping mode)AFMの基礎と動作原理:30分


※コース1と3については、マテリアル小型AFMのユーザー様にも共通する内容となっております。コース2については、全自動AFM専用の講座内容となります。

形式ウェビナー(オンラインによるWEBセミナー)
※ウェビナー配信サービスには「GoToWebinar」を利用致します。Webブラウザ経由での視聴となりますので、ソフトウェアのインストールは不要です。また、ご所属先のインターネットのセキュリティーポリシーによってはGoToWebinarへのアクセスを拒否される場合がございます。事前にご所属先のIT部門の方へアクセス許可のご相談をお願い致します。
お申込み下記視聴登録フォームよりお申込み下さい。

プログラム  

コース分類内容お申し込み受付
コース1
(日程をお選び下さい)
10月23日(水)11:00
10月24日(木)15:00
10月25日(金)13:00
原子間力顕微鏡Tapping mode(Profiler mode含む)AFMの基礎と動作原理:40分

Tapping mode AFMは、ブルカーが特許を取得した技術で、全世界で最も広く使用されている形状測定向けモードです。共振周波数で振動振幅するプローブ先端を試料表面に非常に弱い力で断続接触させることで形状像を取得します。動作原理と測定におけるポイントを分かり易く解説します。さらに、探針先端形状がイメージに与える影響についても紹介します。

*説明中に使用している操作画面(ユーザーインターフェース)は、ブルカー全自動AFMのものになります。
*原理、測定基礎は同一です。

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コース2
(日程をお選び下さい)
10月30日(水)11:00
10月31日(木)15:00
11月1日(金)13:00

原子間力顕微鏡DT mode(Deep Trench mode) AFMの基礎と動作原理(全自動AFM専用モード):30分

DT mode(Deep Trench mode) AFMは、ブルカーが独自に開発したモードで、特に深い半導体トレンチ構造<90nmの再現性のある測定のために開発されました。DTモードは、「良好な」スキャン条件が満たされた時のみデータポイントを収集し、測定精度の向上をもたらします。Tapping
mode AFMと同様に共振周波数で振動振幅するプローブ先端を試料表面に非常に弱い力で接触させることで測定を行いますが、探針先端と試料表面間に働く水平方向の相互作用力をTapping modeよりも小さく出来る動作原理により、急峻な側壁をもつTrench(トレンチ)測定に適しています。動作原理と測定におけるポイントを分かり易く解説します。全自動AFM専用の測定モードです。

※全自動AFMユーザー様向けの講座内容となります。
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コース3
(日程をお選び下さい)
11月6日(水)11:00
11月7日(木)15:00
11月8日(金)13:00

原子間力顕微鏡TrueSense mode(PeakForce Tapping mode)AFMの基礎と動作原理:30分

ブルカー独自のTrueSense mode (PeakForce Tapping® mode)は、Tapping Mode™の導入以来、原子間力顕微鏡(AFM)技術における最も重要な科学的ブレークスルーとなっています。プローブを共振させない「非共振モード」を採用し、探針の試料表面に対する接触荷重を直接制御することで、Tapping modeと比べ1/10以下の荷重(~50pN)を実現しています。ばね定数の低いプローブとの組み合わせにより高解像度イメージングを提供し、さらに、凝着力等による試料表面状態を同時に取得できる測定モードです。TrueSense mode(PeakForce Tapping mode)動作原理と測定におけるポイントを分かり易く解説します。

*説明中に使用している操作画面(ユーザーインターフェース)は、ブルカー全自動AFMのものになります。
*原理、測定基礎は同一です。
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セミナーに関するお問合せ

ブルカーナノ表面計測事業部 イベント担当 

TEL:03-3523-6361 / FAX : 03-3523-6364