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イベント・セミナー情報

ブルカージャパン(株) ナノ表面計測事業部は、ナノプローブテクノロジー第167委員会の企業会員です。 ナノプローブテクノロジー第167委員会とは日本学術振興会の設置する61の産学協力研究委員会の1つであり、走査型プローブ顕微鏡(SPM)の基礎・応用技術の組織的発展を目標に活動しています。
167委員会のHPはこちら
http://www.npt167.jp/

イベント

半導体製造ライン・研究開発向け原子間力顕微鏡・X線評価技術の最前線    

自動化AFM半導体評価ウェビナー

 この度、半導体をテーマにした各種装置をご紹介するウェビナーを開催する運びとなりました。
これまで原子間力顕微鏡(AFM)は半導体各工程において、ウェーハーの表面粗さ、凹凸形状、欠陥、膜厚の自動測定から、不純物濃度や機械・化学特性の微細解析迄、多種多様な目的に使われてきました。
今回のウェビナーでは特に近年実用化された技術を中心に、AFMのみならずX線評価技術・装置も併せて紹介致します。製品開発のみならず材料、素材、分析技術、製造装置など半導体に関わる多種多様な分野の方に興味を持っていただけるセミナーです。
皆様のご参加をスタッフ一同お待ちしております。

日時2022年5月25日(水) 13:30~14:45 (13:15ログイン受付開始) 
形式ウェビナー(オンラインによるWEBセミナー)
※お持ちのPCにてインターネット経由でのご参加となります。インターネットに接続できる環境でお手元のパソコンや各種端末からご参加いただけます。
ウェビナー配信サービスには「GoToWebinar」を利用致します。
GoToWebinarをインストールできるPC及びモバイル端末等をご用意願います。ご所属先のインターネットのセキュリティーポリシーによってはGoToWebinarへのアクセスを拒否される場合がございます。その場合は、事前にご所属先のIT部門の方へアクセス許可のご相談をお願い致します。
参加費無料(事前登録制)
お申込み下記登録フォームよりお申込み下さい。

 WEB登録フォーム  ※対応ブラウザ Google Chrome, Edge, Firefoxとなります.

プログラム  

時間 内容  (当日のプログラムは予告なく変更することがございます。)
13:30~13:55

「半導体研究開発向け:表面形状・欠陥計測からナノスケール機械特性・電気特性評価への応用

 
 研究開発から量産工程のQA/QC/FAのための費用対効果の高いDimension® HPIとPRO原子間力顕微鏡(AFM)は、レシピによる多点自動測定と高スループットを提供します。小型AFMにも関わらず最大300mmウェハー全面アクセス対応の大量生産環境向けに設計されており、品質管理・品質保証・故障解析のための簡単な操作性と低コストを実現しています。L&S・Via・欠陥形状測定からデバイス上のナノスケール弾性率測定、キャリア濃度・PN極性等の電気的測定など多様なAFM計測手法について紹介します。


ブルカージャパン株式会社 ナノ表面計測事業部 アプリケーションエンジニア 鈴木 操 

13:55~14:15

半導体研究開発向け:10 nm の微小異物が分かる - ナノ赤外分光装置Dimension IconIR - 

 
 Dimension IconIRは、AFM業界をリードするBrukerのDimension Iconに、10 nm空間分解能を誇るnanoIRの赤外分光能を付与した新しい表面解析システムです。ウェーハやデバイス上のナノサイズの異物分析・故障解析など様々なナノ化学構造分析に対応します。IconIRには300 mm ウェーハ対応機種や、フォトマスク用の専用アタッチメント等も存在し、また、多様なAFM測定モードによる多角的な表面ナノ分析および、KLARFファイルを介した分析装置間の連携による高度なデバイス分析など様々な分析アプリケーションに対応可能です。


ブルカージャパン株式会社 ナノ表面計測事業部 アプリケーションエンジニア 横川 雅俊

14:15~14:30

「半導体製造ライン向け:表面形状及び欠陥測定用全自動高速(原子間力)顕微鏡


 AFM(原子間顕微鏡)は表面の3次元測定用の顕微鏡です。 このウェビナーを通じて弊社の半導体製造環境でのインライン測定ソリューションを紹介します。CMP後のプロセス評価測定に効果的な長距離プロファイリングや広域AFM測定、L&Sトレンチ側壁形状測定、等のお役に立つ測定などを紹介します。


ブルカージャパン株式会社 ナノ表面計測事業部 アプリケーションエンジニア 新出 誠

14:30~14:45

「半導体製造ライン向け:X線を使用した各種全自動測定システムとウェハ洗浄機の紹介


 Siウエハーを使用した半導体向けの、前工程用全自動X線検査システムラインナップ(XRR、XRF、XRD、XRDI,TXRF,XCD)、Cryogenicウエハークリーニングシステム、後工程におけるPackaging微細接続解析用X線イメージングシステムを紹介します。


ブルカージャパン株式会社 ナノ表面計測事業部 セールスマネージャー 植松 孝則


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セミナーに関するお問合せ

ブルカーナノ表面計測事業部 イベント担当 

TEL:03-3523-6361 / FAX : 03-3523-6364