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ブルカージャパン(株) ナノ表面計測事業部は、ナノプローブテクノロジー第167委員会の企業会員です。 ナノプローブテクノロジー第167委員会とは日本学術振興会の設置する61の産学協力研究委員会の1つであり、走査型プローブ顕微鏡(SPM)の基礎・応用技術の組織的発展を目標に活動しています。
167委員会のHPはこちら
http://www.npt167.jp/
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Dektak 年度末キャンペーン

年度末にまだ間に合う!(3月末納品)、通常3か月納期を大幅短縮!台数に限りあり!

只今、ブルカージャパン ナノ表面計測事業部では、年度末にまだ間にあう!「台数限定&特価・短納期キャンペーン」を実施しております。(2020年3月末納品分まで)通常3か月納期を短納期でご提供いたします。是非この機会にご検討下さい。

対象製品

触針式薄膜段差計 Dektak XTシリーズ

【価格・構成例】
 DektakXT-Eの場合

1nm~1mm膜厚段差評価が可能
補正値のいらない信頼性の高い評価システム

価格:4,980,000~

期間:~2020年3月20日迄(注文受付期間)
仕様により納期が変わりますので詳しくは営業までお問合せ下さい。

【1nmの膜厚段差測定例】

装置名
DektakXT-E
測定範囲 (Z/Y)1nm~1mm / 55μm~55mm
段差再現性 (σ値)0.4Å
試料ステージ100mmXY(手動)
解析内容粗さ解析、ストレス解析、ペアリングレシオ解析、ヒストグラム解析、
段差値自動計算、各種フィルタリング
スタイラス2μm もしくは 12.5μm
防振台卓上型空気ばね式防振台(コンプレッサーは含まれません)
搬送混載便にて事前発送(立上げ用CD付き)

【簡単操作】

DektakXT シリーズ基本性能表

Vision64 ソフトウェア基本性能

型式名XT-EXT-SXT-AXT-L

触圧

レンジ

1mg~

15mg

1mg~

15mg

1mg~

15mg

0.03m~

15mg

Z方向分解能0.1nm    0.1nm
    0.1nm
    0.1nm
段差再現性

0.4nm

(30回連続測定時の1σ)

0.4nm

(30回連続測定時の1σ)

0.4nm

(30回連続測定時の1σ)

0.4nm

(30回連続測定時の1σ)

試料ステージ

手動

4 in XY


手動

4 in XY 

360°Θ

電動

6 in XY 

360°Θ

電動

12 in XY 

360°Θ

資料サイズ最大4inch8inchi8inchi
12inchi
型式名XT-EXT-SXT-AXT-L
粗さ解析
ストレス計算



ベアリングレシオ解析



ヒストグラム解析



段差値自動計算



マルチリジョン解析

測定面積比計算



体積変動グラフ



自己相関解析



X/Y方向 微分解析



新旧モデル性能比較表

型式名     6M     D150 Dektak XT-E
段差再現性/1σ7.5Å6Å4Å
最大測定範囲/Z262μm524μm1000μm
最大データポイント60000120000120000
スキャン長25.4mm0.67-4.29mm55mm
光学顕微鏡 観察範囲2.6mm固定0.67-4.29mm1-4mm(可変ズーム)
ストレス計算オプションオプション標準装備
OSDOSWinXP 32BitWin10 64bit
オフライン解析ソフト無し無しユーザー無制限 Vision64

拡張性(フィールドアップグレード)

型式   6M   
  D150  Dektak XT-E
抵触圧オプション
(0.03mg~)
可能可能可能
多目的 対応 解析ソフト
Vision 64Map
対応(11ヶ国語
言語対応)
自動ステージ拡張対応6インチXY,
60°回転

【マルチ言語対応】

キャンペーンに関するご質問やお問合せはブルカーもしくはお近くの代理店へお問合せください