資料請求はこちら
デモ・使用・測定方法のお問合せはこちら
故障・保守・移設・トレーニングのお問合せはこちら
サポート/保守/アップグレードに関するご案内
ブルカーナノ表面計測事業部ユーザー登録

イベント・セミナー情報

ブルカージャパン(株) ナノ表面計測事業部は、ナノプローブテクノロジー第167委員会の企業会員です。 ナノプローブテクノロジー第167委員会とは日本学術振興会の設置する61の産学協力研究委員会の1つであり、走査型プローブ顕微鏡(SPM)の基礎・応用技術の組織的発展を目標に活動しています。
167委員会のHPはこちら
http://www.npt167.jp/
Bruker グローバルサイト

Dektak 年度末キャンペーン

ブルカーナノ表面事業部ベストセラーのDektak販売50周年を記念し、特別価格キャンペーンを開催します。この機会をお見逃しなく。

対象製品:Dektak-Entry型 接触式DektakXT

1nm~1mm膜厚段差評価が可能
補正値のいらない
信頼性の高い評価システム


価格:4,980,000.-

期間:~2020年3月20日迄
※仕様変更、価格、納期等は別途ブルカー担当営業へご相談下さい。

【1nmの膜厚段差測定例】

装置名
DektakXT-E
測定範囲 (Z/Y)1nm~1mm / 55μm~55mm
段差再現性 (σ値)0.4nm
試料ステージ100mmXY(手動)
解析内容粗さ解析、ストレス解析、ペアリングレシオ解析、ヒストグラム解析、
段差値自動計算、各種フィルタリング
スタイラス2μm もしくは 12.5μm
防振台卓上型空気ばね式防振台(コンプレッサーは含まれません)
搬送混載便にて事前発送(立上げ用CD付き)

【簡単操作】

性能比較表

型式名     6M     D150 Dektak XT-E
段差再現性/1σ7.5Å6Å4Å
最大測定範囲/Z262μm524μm1000μm
最大データポイント60000120000120000
スキャン長25.4mm0.67-4.29mm55mm
光学顕微鏡 観察範囲2.6mm固定0.67-4.29mm1-4mm(可変ズーム)
ストレス計算オプションオプション標準装備
OSDOSWinXP 32BitWin10 64bit
オフライン解析ソフト無し無しコピーフリー Vision64

拡張性(フィールドアップグレード)

型式   6M   
  D150  Dektak XT-E
抵触発オプション
(0.03mg~)
可能可能可能
多目的 対応 解析ソフト
Vision Map
対応(11ヶ国語
言語対応)
自動ステージ拡張対応6インチXY,
60°回転

【マルチ言語対応】

キャンペーンに関するご質問やお問合せはこちらから