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ブルカー・エイエックスエス ナノ表面計測事業部は、ナノプローブテクノロジー第167委員会の企業会員です。 ナノプローブテクノロジー第167委員会とは日本学術振興会の設置する61の産学協力研究委員会の1つであり、走査型プローブ顕微鏡(SPM)の基礎・応用技術の組織的発展を目標に活動しています。
167委員会のHPはこちら
http://www.npt167.jp/

製品案内

ナノ表面計測システム
AFM(原子間力顕微鏡)・SPM(走査型プローブ顕微鏡)・3次元白色光干渉型顕微鏡・
触針式プロファイリングシステム・トライボロジー/メカニカル試験装置・
LED、HB-LEDエピタキシャルウエハ 非破壊発光検査装置

ナノ表面計測システムでは、原子像観察が可能な高分解能AFM(原子間力顕微鏡)から大型試料観察や機械特性・電気特性等の様々な特性をナノスケールで計測可能なSPM(走査型プローブ顕微鏡)、更に広範囲なエリアの粗さ・形状を高速非破壊で計測可能な3次元白色光干渉型顕微鏡(オプティカルマイクロスコピー)や、触針式プロファイリングシステム、トライボロジー/メカニカル試験装置で材料表面の検査・評価を行う装置を取り扱っています。

特に AFM/SPM 装置では、これまでたくさんの新技術を提供しており、大変多くの研究者の皆様が計測で得られたAFMイメージあるいはSPMイメージを使って論文発表等をいただいております。他の顕微鏡では得られない液中での高分解能AFMイメージはライフサイエンスでは大変重要な情報を与えてくれますし、半導体等の基盤測定では非常な微細な粗さをAFMは計測してくれます。ポリマー試料では、ガラス転移温度での物性の変化をSPMモードが様々な情報を提供してくれます。また、半導体分野ではP/Nジャンクション、ドーパント濃度等非常な有用な情報の取得をSPMは可能にしており、更に今日はSPMによって機械特性の測定を短時間で可能にしました。正にSPMは驚異的進化を遂げています。
下記に当社の最新のAFM(原子間力顕微鏡)/ SPM(走査型プローブ顕微鏡)をはじめとした製品ラインナップをご紹介させていただきます。

ナノ表面計測システム製品ラインナップ

AFM(原子間力顕微鏡)システム

Dimension FastScan AFM

世界最速・高分解能 大型試料用AFM(原子間力顕微鏡)
Dimension FastScan AFM

分解能やフォースコントロールを損なうことなく、非常に高速なイメージングスピードを達成した初めてのAFMです。Dimension Icon® AFMシステムをベースとし、チップスキャン方式を採用し、大口径から小さなサイズまでサンプルの大きさに制限されず、大気中、液中ともに測定ができるため、高性能AFMで得られる高分解能イメージが1台のシステムでただちに得られます。サンプル上で測定個所を探すときは125Hz以上の高速で測定可能で、大気中、液中にかかわらず数秒で1イメージが取得できます。

MultiMode 8 AFM

高分解能・小型試料用AFM(原子間力顕微鏡)
MultiMode 8 AFM

MultiMode 8は、世界最多の納入実績を誇るMMAFM型高分解能AFMに、次世代型高性能AFMコントローラー(NanoScope V)を搭載し、更に新技術のPeakForce TappingAFM技術によりワンプッシュオペレーションを可能にしたScanAsyst機能及び定量的機械特性マッピング機能のPeakForce QNMを搭載した画期的なAFMです。

高性能大型試料用AFM(原子間力顕微鏡)
Dimension Icon AFM

大型試料測定、高分解能、操作性、多機能、拡張性のすべてのニーズに合致し、従来製品を遙かに凌駕したAFM(原子間力顕微鏡)です。超低ノイズ・低ドリフトのクローズドループスキャナー搭載。更に新技術のPeakForce Tapping技術によりワンプッシュオペレーションを可能にしたScanAsyst機能及び定量的機械特性マッピング機能のPeakForce QNMを搭載可能にした画期的AFMです。

BioScope Resolve

生体力学分野の最高分解能イメージングを実現したバイオAFM
BioScope Resolve

Bruker独自のPeakForce QNMとFASTForce Volumeモードにより、きわめて定量的な生きた細胞の機械的特性マッピングを可能にします。さらには、分子レベルの高分解能から細胞サイズのイメージングまでバイオAFM最高の分解能を実現し、AFMと倒立型光学顕微鏡のシームレスな統合により、卓越したデータ関連性を提供します。高性能なPeakForceタッピングにより実現する優れたAFM性能も実現しています。

Dimension FastScan Bio AFM

高速・高分解能 ライフサイエンス向けAFM
Dimension FastScan Bio AFM

ライフサイエンス試料の高分解能・高速での観察を可能にします。Bruker独自技術PeakForce Tappingにより高分解能の液中測定が簡単になり、広い観測範囲や正確な液量コントロール、温度制御にも対応しています。AFMの初心者の方にでも容易に操作ができるScanAsystモードを搭載し、最新ソフトウェアが感覚的な操作を実現します。リアルタイムでの観測位置の変更、ズーム操作が可能で最先端のライフサイエンス研究がより容易になります。

Dimension Edge AFM

汎用大型試料用AFM(原子間力顕微鏡)
Dimension Edge AFM

高性能クローズドループスキャナーを搭載した大型試料対応AFMです。高い操作性と大型試料に対応しながら、非常にコンパクトな設計に成功し、従来製品と比較して大変安価な提供を可能にしました。高い基本性能と大変高いコストパフォーマンスを持つAFMです。

Innova AFM

汎用AFM(原子間力顕微鏡)
Innova AFM

小型ながら多くの機能を満載したAFMで、コストパーフォーマンスに大変優れています。一般的なAFM走査技術は勿論、ダークリフト(電気特性評価時に有効)・3軸センサー付きのスキャナなど最新の技術も搭載しています。光学顕微鏡・防音フード一体型です。TERSにも対応しています

Dimension Edge PSS

パターンドサファイアサブストレート(PSS)向けAFM
Dimension Edge PSS

Dimension Edge AFMプラットフォームを拡張したEdge PSSは、パターンドサファイアサブストレート(PSS)のサプライヤーのニーズを満たすために特別に設計されたブルカー独自のAutoMET計測分析ソフトウェアを搭載しています。適正価格のAFMではこれまで見られなかったレベルの自動化と使いやすさを実現し、基板測定専用のソリューションを提供します。

AFM/IR, AFM/Raman(TERS)ソリューション

Inspire

AFM/IRナノケミカルIDシステム
Inspire

AFMとIR(赤外反射・吸収イメージ)を融合させた、最新のAFM/IRナノケミカルIDシステムInspireは、PeakForce IRにより10nm分解能で化学的同定と、機械特性の同時非破壊測定を実現します。

Innova-IRIS(AFMラマン)

TERS対応型AFMシステム(反射型サンプル用)
Innova-IRIS(AFMラマン)

AFMとラマン分光測定装置を統合し、TERS(チップ増強ラマン散乱法:Tip Enhanced Raman Spectroscopy)を実現したシステムです。本機では金または銀をコートしたAFM探針を用いて、ラマン光の増強を行い、AFMで試料を走査し、形状や物性からラマン分析を行うポイントを決めることができます。Innova-IRISは反射型サンプルに対応します。

Dimension Icon-Raman

AFMラマン統合システム
Dimension Icon-Raman

Dimension Icon AFMと顕微ラマンの組み合わせで、AFM測定と同一箇所でのマイクロラマン測定が可能になります。Dimension Iconにより最高分解能でのAFM測定が可能で、ナノレベルでの三次元形状測定/物理特性と同一箇所で化学特性/構造特性の分析を行なうことができます。

AFM/SPM用プローブ

Bruker AFM Probes

AFM/SPM用プローブ
Bruker AFM Probes

マイクロラフネスからトレンチ構造まで様々な形状測定するプローブや、電気特性を測定するための金属コートプローブ、あるいは硬度計測用ダイヤモンドプローブ等、様々なアプリケーションを可能にするAFM/SPMプローブを提供しております。

お問い合せ、お見積り窓口
ブルカー・エイエックスエス(株) ナノ表面計測事業部
【電話】03-3523-6361 【FAX】03-3523-6364
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(株)ニコンインステック バイオサイエンス営業本部
【電話】03-3216-9164 【FAX】03-3216-9167
【メール】Nit.Biosales@nikon.com

Bruker AFM/SPM Probes Global Site はこちら
※Bruker AXS NSB(Nano Surface Business)は、高性能なAFM装置群と豊富なプローブの両製品を製造している唯一の会社です。

AutoAFM(大型自動原子間力顕微鏡)

InSight-450 3DAFM

450mmウェハ対応 大型AutoAFM(自動原子間力顕微鏡)
InSight-450 3DAFM

InSight-450 3D AFMは、300㎜に加え、450㎜ウェハに対応します。深さのみならず側壁の形状が測定可能で、これにより1度のスキャンでTop/Mid/Bottom CD、SWA(Side Wall Angle)、LWR/LER(Line Width Roughness/Line Edge Roughness)、SWR(Side Wall Roughness)といった様々なパラメータを取得できます。最新設計のハードウェアと測定アルゴリズムにより45nm以下の狭い線幅にも対応可能です。また、レーザーを照射しないためレジストを非破壊で測定可能で、かつNISTトレーサブルなCD/Depthスタンダードを採用していますのでTEMに変わる新しい標準器としてもご使用いただけます。 従来にない画期的な半導体用AFMシステムです。

InSight 3D AFM

側壁計測可能・AutoAFM(自動原子間力顕微鏡)
InSight 3D AFM

InSight 3D AFMは深さのみならず側壁の形状が測定可能です。これにより1度のスキャンでTop/Mid/Bottom CD、SWA(Side Wall Angle)、LWR/LER(Line Width Roughness/Line Edge Roughness)、SWR(Side Wall Roughness)といった様々なパラメータを取得できます。最新設計のハードウェアと測定アルゴリズムにより32nm以下の狭い線幅にも対応可能です。また、レーザーを照射しないためレジストを非破壊で測定可能で、かつNISTトレーサブルなCD/Depthスタンダードを採用していますのでTEMに変わる新しい標準器としてもご使用いただけます。 従来にない画期的な半導体用AFMシステムです。

Dimension AFP

CMP & Etch評価用AutoAFM(全自動原子間力プロファイラー)
Dimension AFP

Dimension AFPはCMPやEtchプロセス評価用の全自動AFMです。最長25mmまでのプロファイリング機能に加え、AFMならではのラフネス測定、通常のAFMでは困難だった65nm以下の狭い線幅での正確な深さ測定にも対応可能です。また、300mmウェハに対応し、自動AFMプローブ交換・プローブ先端形状評価機能、ホストとの通信機能も装備できるため、製造ラインの自動化にフルに対応いたします。

白色光干渉型顕微鏡

Contour Elite I

リアルカラー対応 高性能 非接触3次元 白色光干渉型光学顕微鏡
Contour Elite I

優れた3D光学計測と高質カラーイメージングが融合した64ビット対応の最新型、高性能白色光干渉型顕微鏡です。Bruker独自の自動傾斜調整ヘッドにより傾斜調整時の測定中心の位置ずれを回避し、スループット向上を実現しました。操作性の向上、充実したデータレポート機能、2000枚を超えるデータステッチング計測の実現、膜厚計測、加熱、冷却環境で測定可能とした対物レンズラインナップ等、研究開発から生産管理にいたる様々な用途に答える形状情報を、高精度かつ非接触3次元で高速に提供します。

Contour Elite K

リアルカラー対応 簡易型 非接触3次元 白色光干渉型光学顕微鏡
Contour Elite K

優れた3D光学計測と高質カラーイメージングが融合した64ビット対応の最新・汎用型高性能白色光干渉型顕微鏡です。操作性の向上、充実したデータレポート機能、2000枚を超えるデータステッチング計測の実現、膜厚計測、加熱、冷却環境で測定可能とした対物レンズラインナップ等、研究開発から生産管理にいたる様々な用途に答える形状情報を、高精度かつ非接触3次元で高速に提供します。

Contour Elite X

リアルカラー対応 大型試料対応 非接触3次元 白色光干渉型光学顕微鏡
Contour Elite X

優れた3D光学計測と高質カラーイメージングが融合した64ビット対応の最新型、高性能白色光干渉型顕微鏡です。Bruker独自の自動傾斜調整ヘッドにより、傾斜調整時の測定中心の位置ずれを回避し、スループット向上を実現しました。最大300㎜の自動XYステージを搭載し、大型サンプルの測定に最適なシステムです。操作性の向上、充実したデータレポート機能、2000枚を超えるデータステッチング計測の実現、膜厚計測、加熱、冷却環境で測定可能とした対物レンズラインナップ等、研究開発から生産管理にいたる様々な用途に答える形状情報を、高精度かつ非接触3次元で高速に提供します。

ContourGT-I

64ビット対応 高性能白色光干渉型顕微鏡
ContourGT-I

64ビット対応の高性能白色光干渉型顕微鏡です。操作性の向上、充実したデータレポート機能、2000枚を超えるデータステッチング計測の実現、膜厚計測、加熱、冷却環境で測定可能とした対物レンズラインナップ等、研究開発から生産管理にいたる様々な用途に答える形状情報を、高精度かつ非接触3次元で高速に提供します。

ContourGT-K

64ビット対応 簡易型 高性能白色光干渉型顕微鏡
ContourGT-K

64ビット対応の高性能白色光干渉型顕微鏡です。操作性の向上、充実したデータレポート機能、2000枚を超えるデータステッチング計測の実現、膜厚計測、加熱、冷却環境で測定可能とした対物レンズラインナップ等、研究開発から生産管理にいたる様々な用途に答える形状情報を、高精度かつ非接触3次元で高速に提供します。

ContourGT-X

64ビット対応 生産管理用 高性能白色光干渉型顕微鏡
ContourGT-X

64ビット対応の高性能白色光干渉型顕微鏡です。操作性の向上、充実したデータレポート機能、2000枚を超えるデータステッチング計測の実現、膜厚計測、加熱、冷却環境で測定可能とした対物レンズラインナップ等、研究開発から生産管理にいたる様々な用途に答える形状情報を、高精度かつ非接触3次元で高速に提供します。

NPFLEX

大型試料用 白色光干渉型顕微鏡
NPFLEX

光学部品、自動車部品、インプラント品、切削加工部品 等 評価の為に切りだしや加工を好まない試料をそのまま計測できるワイドステージ構造を実現した白色光干渉粗さ計です。また±45度まで計測ヘッドを傾けられるシステム構造は、あらゆる角度から高精度計測を実現します。
(試料搭載可能スペース:304mmD x 304mmW x 350mmH)

NPFLEX-LA

リードアングル評価対応 大型試料用 白色光干渉型顕微鏡
NPFLEX-LA

大型サンプルの測定を実現する特徴的なシステム構造をもちあわせています。249x304x304mmにわたる試料搭載スペースと、±45°の傾斜調整を可能にする傾斜調整ヘッド構造により、ハイポイドギヤやプラネタリギア、ヨーク、などの様々な自働車部品や、医療インプラント品などの局所的表面形状測定を可能にします。

ContourSP

実装基盤専用 白色光干渉型顕微鏡
ContourSP

最大 610mm x 610mmサイズまでのさまざまな実装基盤の自動計測を可能にした光干渉型顕微鏡です。CogneX搭載により、フィデューシャルアライメントやプレアライメント動作を行いテキスト形式でインポートされる任意指定箇所の自動測定を可能にします。ライン&スペース、ビア、アンカー、リセッション計測を高性能かつ高速に行う品質管理用専用システムです。

HD9800+

3D光学インライン計測
HD9800+

インラインデータストレージの磁気ヘッド計測向けの世界最先端の光学プロファイラーです。スライダーのCCT(クラウン、キャンバー、ツイスト)とPTR(ポールチップリセッション)の特性解析を完全に自動化して、最先端のプロセス制御に必要な高速スループットを実現します。

触針式プロファイリングシステム

Dektak XT

汎用触針式プロファイリングシステム
Dektak XT

40年以上業界をリードしてきたDektakシリーズの第10世代目の最新機種になります。
シングルアーチ設計とスマート・エレクトロニクスにより測定再現性5Åを実現し、ダイレクトドライブ・ステージは測定時間を40%向上させます。64ビットコンピュータ上で動作するVision64は従来の10倍の高速データ解析を行います。またオールインワン設計のスタイラスセンサーヘッドは、ヘッド交換無しで、ロングレンジスキャンと低触圧測定モードを同時に実現します。

Dektak XTL

大型ステージ対応 触針式プロファイリングシステム
Dektak XTL

12インチウエハ、 350mmx350mmの基板サイズにフルアクセス可能な、半導体&大型試料対応の触針式プロファイリングシステムです。オールインワン設計のスタイラスセンサーヘッドはヘッド交換なしで、ロングレンジスキャンと低触圧測定モードを同時に実現することができます。また、シングルアーチ型設計と最新のプロセッサーにより、5Åと比類ない測定再現性を実現します。さらに、Windows7 64Bit対応Visionソフトウエアが、パワフルで直感的オペレーションを提供します。

トライボロジー/メカニカル試験装置

NanoForce

ナノメカニカル測定インデンテーションシステム
NanoForce

NanoForceTMは、AFMによるナノスケール特性分析の優れた機能と、ナノメカニカル試験装置の卓越した機能を組み合わせたものです。NanoLens(TM) AFMモジュールとシームレスに統合されているため、1台のナノメカニカル試験システムで接触特性、拡張接触特性、動的特性、熱特性、電気的特性などによるナノスケールの表面測定に対応します。

UMT TriboLab

トライボロジー/メカニカル試験装置
UMT TriboLab

ブルカーのUniversal Mechanical Tester(UMT)プラットフォームは、2000年にの発売以来、市場でもっとも広く使われ、汎用的なトライボメーターとして定評を得ています。基礎から新たに設計されたUMT TriboLabTMは、その汎用性を受け継ぎ、独自のモジュールコンセプトを基盤としています。これにより、性能をまったく損なわずにこれまで以上の機能を活用できます。

LED、HB-LEDエピタキシャルウエハ 非破壊発光検査装置

LumiMap

LED、HB-LEDエピタキシャルウエハ 非破壊発光検査装置
LumiMap

LumiMapは、LED、HB-LEDの製造工程において2~6インチのエピウエハ上の任意カ所における波長スペクトルおよび電気特性の同時計測をこなせるシステムです。独自のクランプ技術と耐久性の高い非破壊・導電性プローブそして直感的な操作を可能にした制御ソフトウエアによりエピウエハのIV特性、スペクトル強度、波長スペクトル情報を高精度かつ高い再現性で非破壊計測することで、効率的な生産管理を力強くサポートします。