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ブルカージャパン(株) ナノ表面計測事業部は、ナノプローブテクノロジー第167委員会の企業会員です。 ナノプローブテクノロジー第167委員会とは日本学術振興会の設置する61の産学協力研究委員会の1つであり、走査型プローブ顕微鏡(SPM)の基礎・応用技術の組織的発展を目標に活動しています。
167委員会のHPはこちら
http://www.npt167.jp/
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ナノインデンテーションシステム

ナノインデンテーションシステム

ハイジトロントライボインデンター Triboindenter TI980, TI Premier

Hysitron Ti980

ハイジトロントライボインデンター
Triboindenter TI980, TI Premier

ハイジトロントライボインデンターTI980は、顕微鏡を圧痕観察を行わず、硬さ弾性率の測定を可能にするナノメカニカル特性の分野に高い信頼性とパフォーマンスを提供します。硬さ・ヤング率測定、ナノDMA粘弾性特性、ナノスクラッチ密着強度測定、ナノウェア摩耗特性評価、SPM Imaging 表面形状像取得、その他破壊靱性、応力緩和測定など幅広い測定に対応する柔軟性と信頼性、使いやすさと高速動作のすべて兼ね備えたベストソリューションです。

  • 特許技術である静電駆動トランヂューサーによるフロアノイズは30nN以下を実現
  • 走査プローブ顕微鏡モードでは押し込み圧子で表面形状像を観察と業界最高の+/-10nmの精度による測定箇所指定
  • 78kHzフィードバックループと38kHzサンプルリングレートによる材料挙動の解析
  • トランスデューサーの並列搭載により低負荷と高付加ヘッドのワンクリック切替
  • 大型ステージとサンプルゾーンコンセプトにより高さの違うサンプルやリセスなどの測定が可能
  • 周波数0.1~300HzでのnanoDMA測定(貯蔵・損失弾性、Tan δ)
  • xSOLステージにより最大800℃の加熱や冷却・湿度制御が可能。(粘弾性温度依存性)
  • XPM高速インデンテーションにより高いスループットを実現(マッピング機能付属)

電子顕微鏡組み込み型 ピコインデンター SEM用PI85 / SEM用PI88, TEM用PI95

電子顕微鏡組み込み型 ピコインデンター

電子顕微鏡組み込み型 ピコインデンター
SEM用PI85 / SEM用PI88, TEM用PI95

ナノインデンテーションはダイアモンド製の圧子を試料に押込み、押込み荷重と深さ方向変位の曲線から硬さや弾性率を測定することができる装置です。これまでは、この荷重変位曲線から材料の変形挙動を議論してきましたが、本装置をSEMやTEMといった電子顕微鏡に組み込むことにより、試料の変形や破壊の挙動をリアルタイムで観察が可能となりました。

  • チルト回転ステージ 様々な方向からのサンプル観察や押込み試験が可能です。また、FIBによる試料の加工や、EBSDなど他の評価手法とのリンクが可能
  • 加熱ステージオプション - 過酷な加熱条件下で、信頼性が要求される材料の試験に理想的なオプションです。400℃、800℃タイプの加熱ホルダーが選択可能
  • 電気測定モード - 圧縮や引っ張り荷重を印加した際の電気特性評価が可能なオプションです。材料の変形挙動を観察しながら電気的特性の変化の起点を理解することが可能