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ブルカージャパン(株) ナノ表面計測事業部は、ナノプローブテクノロジー第167委員会の企業会員です。 ナノプローブテクノロジー第167委員会とは日本学術振興会の設置する61の産学協力研究委員会の1つであり、走査型プローブ顕微鏡(SPM)の基礎・応用技術の組織的発展を目標に活動しています。
167委員会のHPはこちら
http://www.npt167.jp/
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MEMS

不良センサー (Failed Sensor)

アプリケーション: 自動車/航空業、MEMS
測定技術: 3次元光干渉粗さ計
測定に用いた装置: 3次元光干渉粗さ計
画像説明: 白色光干渉計は自動車メーカーの品質テストでのプロトタイプのセンサー評価に重要な役割を果たす。
実用の燃料センサーと実験室のプロトタイプからの摩耗データを比較することで故障の原因などを探し出すことができる。
摩耗のメカニズムを理解することでパーツの再設計を必要とせず、コスト削減が可能となる。

マイクロモーター (Micro Motor)

アプリケーション: MEMS
測定技術: 3次元光干渉粗さ計
測定に用いた装置: 3次元光干渉粗さ計
画像説明: マイクロモーターの3次元光学イメージ。
視野:230umx304um。
データーご提供:CNRI

加速度計 (Accelerometer)

アプリケーション: 自動車/航空業、MEMS
測定技術: 3次元光干渉粗さ計
測定に用いた装置: 3次元光干渉粗さ計
画像説明: 加速度計の3次元光学欠陥検査イメージ。
視野:5.5mmx5.5mm
データーご提供:CNRI

マイクロ流体デバイス (Microfluidic Device)

アプリケーション: MEMS
測定技術: 3次元光干渉粗さ計
測定に用いた装置: 3次元光干渉粗さ計
画像説明: マイクロ流体デバイスの3次元光学イメージ。
視野:5.5mmx5.5mm
データーご提供:Erik Miller(AIBN-University)

Knowlesのマイク (Knowles Microphone)

アプリケーション: MEMS
測定技術: 3次元光干渉粗さ計
測定に用いた装置: 3次元光干渉粗さ計
画像説明: Knowlesマイクの3次元光学特性評価。

マイクロ流体 (Microfluidics)

アプリケーション: MEMS
測定技術: スタイラスプロファイラー
測定に用いた装置: Dektak
画像説明: Dektakによるマイクロ流体管の深さ、幅、側壁の角度を測定。
同様にインクジェットプリンターのヘッド、ラボオンチップ、マイクロ推進、マイクロ熱も測定可能。

インクジェットノズル (Ink Jet Nozzle)

アプリケーション: MEMS
測定技術: スタイラスプロファイラー
測定に用いた装置: Dektak
画像説明: Dektakによるインクジェットノズルカートリッジのイメージ測定。
ノズルの寸法特性はインクの流れと装置の性能に影響を与える。