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イベント情報

  • 7月26日(木)と27日(金)          名古屋ワークショップ開催
  • 5月17日(木)~18日(金)          第25回燃料電池シンポジウム   
  • 5月16日(水)16:00-17:00      三次元光干渉型顕微鏡ウェビナー  

ブルカージャパン(株) ナノ表面計測事業部は、ナノプローブテクノロジー第167委員会の企業会員です。 ナノプローブテクノロジー第167委員会とは日本学術振興会の設置する61の産学協力研究委員会の1つであり、走査型プローブ顕微鏡(SPM)の基礎・応用技術の組織的発展を目標に活動しています。
167委員会のHPはこちら
http://www.npt167.jp/
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触針式プロファイリングシステム

触針式プロファイリングシステム

Dektak XT

汎用触針式プロファイリングシステム
Dektak XT

40年以上業界をリードしてきたDektakシリーズの第10世代目の最新機種になります。
シングルアーチ設計とスマート・エレクトロニクスにより測定再現性5Åを実現し、ダイレクトドライブ・ステージは測定時間を40%向上させます。64ビットコンピュータ上で動作するVision64は従来の10倍の高速データ解析を行います。またオールインワン設計のスタイラスセンサーヘッドは、ヘッド交換無しで、ロングレンジスキャンと低触圧測定モードを同時に実現します。

Dektak XTL

大型ステージ対応 触針式プロファイリングシステム
Dektak XTL

12インチウエハ、 350mmx350mmの基板サイズにフルアクセス可能な、半導体&大型試料対応の触針式プロファイリングシステムです。オールインワン設計のスタイラスセンサーヘッドはヘッド交換なしで、ロングレンジスキャンと低触圧測定モードを同時に実現することができます。また、シングルアーチ型設計と最新のプロセッサーにより、5Åと比類ない測定再現性を実現します。さらに、Windows7 64Bit対応Visionソフトウエアが、パワフルで直感的オペレーションを提供します。