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イベント情報

  • 7月26日(木)と27日(金)          名古屋ワークショップ開催
  • 5月17日(木)~18日(金)          第25回燃料電池シンポジウム   
  • 5月16日(水)16:00-17:00      三次元光干渉型顕微鏡ウェビナー  

ブルカージャパン(株) ナノ表面計測事業部は、ナノプローブテクノロジー第167委員会の企業会員です。 ナノプローブテクノロジー第167委員会とは日本学術振興会の設置する61の産学協力研究委員会の1つであり、走査型プローブ顕微鏡(SPM)の基礎・応用技術の組織的発展を目標に活動しています。
167委員会のHPはこちら
http://www.npt167.jp/
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AutoAFM(大型自動原子間力顕微鏡)

AutoAFM(大型自動原子間力顕微鏡)

450mmウェハ対応 大型AutoAFM(自動原子間力顕微鏡) InSight-450 3DAFM

InSight-450 3DAFM

450mmウェハ対応 大型AutoAFM(自動原子間力顕微鏡)
InSight-450 3DAFM

InSight-450 3D AFMは、300㎜に加え、450㎜ウェハに対応します。深さのみならず側壁の形状が測定可能で、これにより1度のスキャンでTop/Mid/Bottom CD、SWA(Side Wall Angle)、LWR/LER(Line Width Roughness/Line Edge Roughness)、SWR(Side Wall Roughness)といった様々なパラメータを取得できます。最新設計のハードウェアと測定アルゴリズムにより45nm以下の狭い線幅にも対応可能です。また、レーザーを照射しないためレジストを非破壊で測定可能で、かつNISTトレーサブルなCD/Depthスタンダードを採用していますのでTEMに変わる新しい標準器としてもご使用いただけます。 従来にない画期的な半導体用AFMシステムです。

側壁計測可能・AutoAFM(自動原子間力顕微鏡) InSight 3D AFM

InSight 3D AFM

側壁計測可能・AutoAFM(自動原子間力顕微鏡)
InSight 3D AFM

InSight 3D AFMは深さのみならず側壁の形状が測定可能です。これにより1度のスキャンでTop/Mid/Bottom CD、SWA(Side Wall Angle)、LWR/LER(Line Width Roughness/Line Edge Roughness)、SWR(Side Wall Roughness)といった様々なパラメータを取得できます。最新設計のハードウェアと測定アルゴリズムにより32nm以下の狭い線幅にも対応可能です。また、レーザーを照射しないためレジストを非破壊で測定可能で、かつNISTトレーサブルなCD/Depthスタンダードを採用していますのでTEMに変わる新しい標準器としてもご使用いただけます。 従来にない画期的な半導体用AFMシステムです。

CMP & Etch評価用AutoAFM(全自動原子間力プロファイラー) Dimension AFP

Dimension AFP

CMP & Etch評価用AutoAFM(全自動原子間力プロファイラー)
Dimension AFP

Dimension AFPはCMPやEtchプロセス評価用の全自動AFMです。最長25mmまでのプロファイリング機能に加え、AFMならではのラフネス測定、通常のAFMでは困難だった65nm以下の狭い線幅での正確な深さ測定にも対応可能です。また、300mmウェハに対応し、自動AFMプローブ交換・プローブ先端形状評価機能、ホストとの通信機能も装備できるため、製造ラインの自動化にフルに対応いたします。