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イベント情報

ブルカージャパン(株) ナノ表面計測事業部は、ナノプローブテクノロジー第167委員会の企業会員です。 ナノプローブテクノロジー第167委員会とは日本学術振興会の設置する61の産学協力研究委員会の1つであり、走査型プローブ顕微鏡(SPM)の基礎・応用技術の組織的発展を目標に活動しています。
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3次元光干渉型顕微鏡(3次元光干渉粗さ計)

基板の湾曲 (Substrate Bow)

アプリケーション: 発光ダイオード(LED)
測定技術: 3次元光干渉粗さ計
測定に用いた装置: 3次元光干渉粗さ計
画像説明: 高輝度LED用2インチウェハーの湾曲をステッチング機能により得た3D光学イメージ。

パターンドサファイアサブストレート (Patterned Sapphire Substrate)

アプリケーション: 発光ダイオード(LED)
測定技術: 3次元光干渉粗さ計
測定に用いた装置: ContourGT
画像説明: 高輝度LED(HBLED)市場で使われるパターンドサファイヤサブストレートの3D光学イメージ。

PSSウェハー (PSS Wafer)

アプリケーション: 発光ダイオード(LED)
測定技術: 3次元光干渉粗さ計
測定に用いた装置: 3次元光干渉粗さ計
画像説明: パターンドサファイアウェハー上の特徴的な形状の3D光学イメージ。

PSSの構造 (PSS Features)

アプリケーション: 発光ダイオード(LED)
測定技術: 3次元光干渉粗さ計
測定に用いた装置: ContourGT
画像説明: 3D PSS形状のリアルタイムスクリーンキャプチャー。

不良センサー (Failed Sensor)

アプリケーション: 自動車/航空業、MEMS
測定技術: 3次元光干渉粗さ計
測定に用いた装置: 3次元光干渉粗さ計
画像説明: 白色光干渉計は自動車メーカーの品質テストでのプロトタイプのセンサー評価に重要な役割を果たす。
実用の燃料センサーと実験室のプロトタイプからの摩耗データを比較することで故障の原因などを探し出すことができる。
摩耗のメカニズムを理解することでパーツの再設計を必要とせず、コスト削減が可能となる。

マイクロモーター (Micro Motor)

アプリケーション: MEMS
測定技術: 3次元光干渉粗さ計
測定に用いた装置: 3次元光干渉粗さ計
画像説明: マイクロモーターの3次元光学イメージ。
視野:230umx304um。
データーご提供:CNRI

加速度計 (Accelerometer)

アプリケーション: 自動車/航空業、MEMS
測定技術: 3次元光干渉粗さ計
測定に用いた装置: 3次元光干渉粗さ計
画像説明: 加速度計の3次元光学欠陥検査イメージ。
視野:5.5mmx5.5mm
データーご提供:CNRI

マイクロ流体デバイス (Microfluidic Device)

アプリケーション: MEMS
測定技術: 3次元光干渉粗さ計
測定に用いた装置: 3次元光干渉粗さ計
画像説明: マイクロ流体デバイスの3次元光学イメージ。
視野:5.5mmx5.5mm
データーご提供:Erik Miller(AIBN-University)

Knowlesのマイク (Knowles Microphone)

アプリケーション: MEMS
測定技術: 3次元光干渉粗さ計
測定に用いた装置: 3次元光干渉粗さ計
画像説明: Knowlesマイクの3次元光学特性評価。

医療用ナイフ (Medical Cutting Blade)

アプリケーション: 医療、精密機械
測定技術: 3次元光干渉粗さ計
測定に用いた装置: 3次元光干渉粗さ計
画像説明: 医療用ナイフのアングルとエッジを示す3次元光学イメージ。

グルコーステスター (Glucose Tester)

アプリケーション: 医療
測定技術: 3次元光干渉粗さ計
測定に用いた装置: 3次元光干渉粗さ計
画像説明: プラスの印の表面形状を示すグルコーステスターの3次元光学イメージ。

ステントコーティング (Stent Coating)

アプリケーション: 医療
測定技術: 3次元光干渉粗さ計
測定に用いた装置: 3次元光干渉粗さ計
画像説明: ステントコーティングのピンホール(左側の青い部分)が3次元解析により判明する。

シリンジの表面粗さ (Syringe Roughness)

アプリケーション: 医療、精密機械
測定技術: 3次元光干渉粗さ計
測定に用いた装置: 3次元光干渉粗さ計
画像説明: シリンジ先端の表面粗さの3次元光学イメージ。
視野:230x300μm

骨片 (Bone Fragment)

アプリケーション: ライフサイエンス、医療 
測定技術: 3次元光干渉粗さ計
測定に用いた装置: 3次元光干渉粗さ計
画像説明: 骨折部表面形態の3次元光干渉像。

眼内レンズ (Bifocal Contact Lens)

アプリケーション: 医療、眼科医学
測定技術: 3次元光干渉粗さ計
測定に用いた装置: ContourGT
画像説明: 眼内レンズ形状のスティッチング測定。

マイクロレンズ (Microlenses)

アプリケーション: 医療、眼科医学
測定技術: 3次元光干渉粗さ計
測定に用いた装置: 3次元光干渉粗さ計
画像説明: マイクロレンズペアの3次元光学イメージ。
視野:15μm高さ、 0.86mm X 1.7 mm

瞳孔レンズ (Interocular Lens)

アプリケーション: 医療、眼科医学
測定技術: 3次元光干渉粗さ計
測定に用いた装置: 3次元光干渉粗さ計
画像説明: 瞳孔レンズの3次元光学イメージ。

レーザーアブレーション (Laser Ablation)

アプリケーション: 医療、眼科医学
測定技術: 3次元光干渉粗さ計
測定に用いた装置: 3次元光干渉粗さ計
画像説明: 医師と研究者は、眼科手術のシミュレーション後のレーザーアブレーションの効果を、3次元光干渉計を使って画像化する。

織布 (Woven Cloth)

アプリケーション: 材料科学
測定技術: 3次元光干渉粗さ計
測定に用いた装置: 3次元光干渉粗さ計
画像説明: 低反射率の布地の3次元光干渉像。織のパターンが明瞭に観察されている。

ダイヤモンド膜 (Diamond Film)

アプリケーション: 材料科学、精密機械
測定技術: 3次元光干渉粗さ計
測定に用いた装置: 3次元光干渉粗さ計
画像説明: 3次元光干渉計による凹凸情報の迅速なデータ収集は、表面のテクスチャーを示し、ダイヤモンド膜の分類のための重要な表面特性を測定する。

AcuityXR デモンストレーションビデオ (AcuityXR Demonstration)

AcuityXR デモンストレーションビデオ (AcuityXR Demonstration)
アプリケーション: 材料科学、セミコンダクター
測定技術: 3次元光干渉粗さ計
測定に用いた装置: ContourGT
画像説明: AcuityXRは米国のR&D100賞を受賞した技術である。Acuity XRを使うと水平分解能が3倍以上改善され、130nm以下、あるいはナノスケールの構造が確認でき、計測の再現性が5倍以上改善される。
GUIの取り扱い易さと、測定の速度、出力データがわかる完全なデモンストレーション。

クラッチプレートタブ (Clutch Plate Tab)

アプリケーション: 自動車/航空業
測定技術: 3次元光干渉粗さ計
測定に用いた装置: NPFLEX
画像説明: クラッチプレートタブの低倍率の光学イメージでロールオフを示す。
タブエッジの角度は仕様を満たさなければならない。

カムシャフトの突起物 (Chatter on Camshaft Lobe)

アプリケーション: 自動車/航空業
測定技術: 3次元光干渉粗さ計
測定に用いた装置: 3次元光干渉粗さ計
画像説明: カムシャフトの3次元ステッチングイメージ。

シリンダーボアのサイドウォール (Cylinder Bore Side Wall)

アプリケーション: 自動車/航空業、精密機械
測定技術: 3次元光干渉粗さ計
測定に用いた装置: NPFLEX
画像説明: エンジンボア内側表面の3次元光学イメージ。
クラシッククロスハッチパターンは可燃性材料の理想的な量を維持するために仕上げられている。
イメージは平面のように見えるが、直立した6シリンダーブロックから得られ、傾けたミラーを用いてサイドウォールを測定している。

エンジンボアクロスハッチ構造 (Engine Bore Crosshatch Texture)

アプリケーション: 自動車/航空業、精密機械
測定技術: 3次元光干渉粗さ計
測定に用いた装置: 3次元光干渉粗さ計
画像説明: エンジンボアのクラシッククロスハッチパターン。
データの湾曲は表面の構造をよりよく示すために取り除いている。

クロムメッキ (Chrome Plating)

アプリケーション: 自動車/航空業
測定技術: 3次元光干渉粗さ計
測定に用いた装置: 3次元光干渉粗さ計
画像説明: クロムメッキは自動車産業で使用されている。
3D光干渉計を用いたクロムメッキの検査では、ピンポイントの欠陥発生源を見つけることができる。

合成内装(内張り) (Synthetic Upholstery)

アプリケーション: 自動車/航空業、その他
測定技術: 3次元光干渉粗さ計
測定に用いた装置: 3次元光干渉粗さ計
画像説明: 合成内張りの形状像のラフネスイメージ。

タービン翼 (Turbine Blade)

アプリケーション: 自動車/航空業、精密機械
測定技術: 3次元光干渉粗さ計
測定に用いた装置: NPFLEX
画像説明: 航空宇宙用のタービン翼のピットのあるコーティングを3次元光干渉粗さ計で示している。

ピストンスカート (Piston Skirt)

アプリケーション: 自動車/航空業、精密機械
測定技術: 3次元光干渉粗さ計
測定に用いた装置: 3次元光干渉粗さ計
画像説明: 機械加工されたピストンスカートの3次元光学イメージはラフな機械加工マークを表している。
ピークトゥバレーや周期性測定はデータから解析を行うことが出来る。

ブレーキローター (Brake Rotor)

アプリケーション: 自動車/航空業
測定技術: 3次元光干渉粗さ計
測定に用いた装置: 3次元光干渉粗さ計
画像説明: 自動車のブレーキローターの3次元光学イメージ。
摩擦特性や音響特性に影響しているブレーキ特性は、表面構造がきわめて重要である。

摩耗痕 (Wear Scar)

アプリケーション: 自動車/航空業、精密機械
測定技術: 3次元光干渉粗さ計
測定に用いた装置: 3次元光干渉粗さ計
画像説明: 側壁面に小さな破片の存在が認められる金属表面の摩耗痕イメージ。

ステンレスベアリング (Stainless Steel Bearing)

アプリケーション: 精密機械
測定技術: 3次元光干渉粗さ計
測定に用いた装置: 3次元光干渉粗さ計
画像説明: 3D光干渉粗さ計により、ステンレスベアリング表面の摩耗痕を観察することができる。
視野:588um×440um

冷却圧延アルミ (Cold Rolled Aluminum)

アプリケーション: 精密機械
測定技術: 3次元光干渉粗さ計
測定に用いた装置: 3次元光干渉粗さ計
画像説明: 3D光学粗さ計により冷却圧延アルミの表面粗さを測定することができる。
視野:588um×440um
Ra: 554nm

プランジグランドシャフト (Plunge-Ground Shaft)

アプリケーション: 精密機械
測定技術: 3次元光干渉粗さ計
測定に用いた装置: NPFLEX-LA
画像説明: 特定の、既知の鉛を含むプランジグランドシャフトのテストサンプルのイメージ。

レーザーテクスチャ加工された鋼鉄 (Laser Textured Steel)

アプリケーション: 精密機械
測定技術: 3次元光干渉粗さ計
測定に用いた装置: 3次元光干渉粗さ計
画像説明: 3D光学粗さ計により、レーザーテクスチャ加工された鋼鉄の表面の断面プロファイルが得られる。
視野:0.9mm×1.2mm

研磨されたアルミ (Laser Textured Steel)

アプリケーション: 精密機械
測定技術: 3次元光干渉粗さ計
測定に用いた装置: NPFLEX
画像説明: 研磨仕上げされた表面の3D光学イメージ。削り目や元からある傷が観察されている。

銅配線 (Copper Traces)

アプリケーション: セミコンダクター
測定技術: 3次元光干渉粗さ計
測定に用いた装置: 3次元光干渉粗さ計
画像説明: 半導体上の銅配線を3次元光学イメージを使って秒単位で計測したイメージ。高さと幅が均一であることがわかる。

CMPパッドコンディショナー (CMP Pad Conditioner)

アプリケーション: セミコンダクター
測定技術: 3次元光干渉粗さ計
測定に用いた装置: 3次元光干渉粗さ計
画像説明: Visionソフトウェアで干渉データを3次元解析した結果で、CMPパッドコンディショナー上に現れたダイヤモンド構造がみられる。

PCBボード (PCB Bumps)

アプリケーション: セミコンダクター
測定技術: 3次元光干渉粗さ計
測定に用いた装置: 3次元光干渉粗さ計
画像説明: バンプとビアを含むPCBボードの3次元光学イメージ。

銅パッド上のビア (Via Copper Trace)

アプリケーション: セミコンダクター
測定技術: 3次元光干渉粗さ計
測定に用いた装置: 3次元光干渉粗さ計
画像説明: 銅パッド上のビアの形状を測定した3次元光学イメージ。

TSV測定 (TSV Measurement)

アプリケーション: セミコンダクター
測定技術: 3次元光干渉粗さ計
測定に用いた装置: 3次元光干渉粗さ計
画像説明: 高アスペクト比のTSV(シリコン貫通電極)形状測定。

バンプ (Bumps)

アプリケーション: セミコンダクター
測定技術: 3次元光干渉粗さ計
測定に用いた装置: 3次元光干渉粗さ計
画像説明: 半導体デバイス上のバンプの3次元光学イメージ。虹色は高さを示し、赤い部分は、最も高い場所を示し、紫色の部分は一番低い場所を示す。

バンプ測定 (Bump Measurement)

アプリケーション: セミコンダクター
測定技術: 3次元光干渉粗さ計
測定に用いた装置: SP9900
画像説明: 3次元光学イメージ。ハンダブリッジや欠落バンプの部分が明瞭に観察できる。

多結晶 ソーラーセル (Polycrystalline Solar Cell)

アプリケーション: ソーラー
測定技術: 3次元光干渉粗さ計
測定に用いた装置: 3次元光干渉粗さ計
画像説明: Visionソフトウエアによる多結晶ソーラーセルの合否判定。
視野: 125μm x 95μm

銀配線 (Silver Trace)

アプリケーション: ソーラー
測定技術: 3次元光干渉粗さ計
測定に用いた装置: 3次元光干渉粗さ計
画像説明: この3次元像は、ソーラーの銀配線(赤/緑のライン)が明瞭に離れてしまっている欠陥部を示している。これは、基本的な太陽電池マトリクスの微細構造である。

銀の導電配線ディフェクト (Silver Conductive Trace Defect)

アプリケーション: ソーラー
測定技術: 3次元光干渉粗さ計
測定に用いた装置: 3次元光干渉粗さ計
画像説明: 3次元光干渉像。多結晶ソーラーセルの銀の導通配線部のディフェクトを示している。

単結晶ソーラーセル (Monocrystalline Solar Cell)

アプリケーション: ソーラー
測定技術: 3次元光干渉粗さ計
測定に用いた装置: 3次元光干渉粗さ計
画像説明: 単結晶ソーラーセルの3Dの特性。

コンパクトディスク (Compact Disc)

アプリケーション: データストレージ
測定技術: 3次元光干渉粗さ計
測定に用いた装置: 3次元光干渉粗さ計
画像説明: 書き込み後のCD表面の3次元光学イメージ。

DLCの分離 (DLC Delamination)

アプリケーション: データストレージ
測定技術: 3次元光干渉粗さ計
測定に用いた装置: 3次元光干渉粗さ計
画像説明: PTRとDLCの薄層に分離した3次元光学イメージ。

磁気ヘッド (Magnetic Head)

アプリケーション: データストレージ
測定技術: 3次元光干渉粗さ計
測定に用いた装置: 3次元光干渉粗さ計
画像説明: 3D光干渉粗さ計を使ってデータ―ストレージ装置の磁気読み出しヘッドを画像化した像。

ハードディスクのサスペンションパーツ (HD Suspension Assembly)

アプリケーション: データストレージ
測定技術: 3次元光干渉粗さ計
測定に用いた装置: 3次元光干渉粗さ計
画像説明: CD装置で使われるサスペンションパーツの3次元光学イメージ。

マイクロウェービネス (Microwaviness)

アプリケーション: データストレージ
測定技術: 3次元光干渉粗さ計
測定に用いた装置: 3次元光干渉粗さ計
画像説明: ディスクのマイクロウェービネスの3次元光学イメージ。

皮膚 (Skin)

アプリケーション: ライフサイエンス
測定技術: 3次元光干渉粗さ計
測定に用いた装置: 3次元光干渉粗さ計
画像説明: 皮膚の毛穴と毛包の微細構造3次元光干渉像。

蝶の羽 (Butterfly Wing)

アプリケーション: ライフサイエンス
測定技術: 3次元光干渉粗さ計
測定に用いた装置: 3次元光干渉粗さ計
画像説明: 蝶の羽の3次元光干渉像。

バッタの目 (Grasshopper Eye)

アプリケーション: ライフサイエンス
測定技術: 3次元光干渉粗さ計
測定に用いた装置: 3次元光干渉粗さ計
画像説明: バッタの目の3次元光干渉像。
視野:309um X 235um